Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9296436 zu verkaufen

UNAXIS / BALZERS LLS EVO
ID: 9296436
Sputtering system.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO Sputterausrüstung ist ein PVD (Physical Vapor Deposition) System, das für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten ausgelegt ist. Diese Einheit nutzt die physikalische Dampfabscheidung, d.h. die dünnen Filme entstehen aus einzelnen Materialpartikeln und nicht durch chemische Dampfabscheidung, bei der in der Regel gasförmige Vorstufen umgesetzt werden. LLS UNACHSEN-EVO ist eine stotternde Modulmaschine, die Hochleistungsimpuls magnetron verwendet (HIPIMS) Technologie stotternd, um minimale materielle Gebrauch- und Absetzungszeiten zu sichern. HIPIMS hat die Fähigkeit, mehr energetische Ionen als herkömmliches Magnetronsputtern zu erzeugen, was eine effizientere Sputterabscheidung ermöglicht. BALZERS LLS EVO verfügt auch über optionale Plasmaquellen, einschließlich Gleichstrom (DC) und Hochfrequenz (HF) Netzteile, sowie eine kontrollierte Umgebungskammer. Dies sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung und minimiert die Kontaktschäden auf empfindlichen Substraten. Alle diese Komponenten ermöglichen eine präzise Kontrolle der Prozess- und Abscheideeigenschaften der hergestellten Dünnschichten. LLS EVO ist in der Lage, eine Vielzahl von Abscheidungszielen zu erreichen, einschließlich einheitlicher und konformer Beschichtung, Wolkennitrierung, tribochemischer Umwandlung, Beschichtung mit hoher Dichte und Verkapselung mit hohem Seitenverhältnis. Das Tool verfügt zudem über erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, die die Optimierung von Prozessparametern und die Echtzeitmessung der Filmeigenschaften ermöglichen. Dies liefert wiederholbare Prozessergebnisse und erhöhte Prozessausbeuten. UNAXIS/BALZERS LLS EVO Asset ist ideal für Anwendungen, die leistungsstarke Dünnschichten benötigen, einschließlich MEMS-Bauelementen, optischen Anwendungen, Halbleiteranwendungen und automobilen Katalysatoren. Dieses Modell bietet einzigartige Vorteile hinsichtlich der Abscheideprozessfähigkeit und Qualität der Dünnschichtabscheidung und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen.
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