Gebraucht UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795 zu verkaufen

UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO
ID: 9285795
Sputtering systems Substrate size: 680 mm x 880 mm.
UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECO Sputteranlagen sind eine vielseitige Hochleistungsabscheidungsvorrichtung zur Herstellung von dünnen Folien auf verschiedenen metallischen, keramischen und Kunststoffsubstraten. Sie besteht aus einer Prozesskammer, Hochfrequenz- und Gleichstromversorgungen, einem Lastschloß, Substrathaltern und einem Regler. Die Prozeßkammer hat einen Innendurchmesser von 305 mm und kann bis zu acht Proben eines der oben genannten Substrate aufnehmen. Der Gasstrom in die Kammer wird durch zwei Gaseinlässe gesteuert, die die Einleitung reaktiver Gase zur reaktiven Abscheidung und zur Sputterreinigung ermöglichen. Die Kammer verfügt auch über ein Be-/Entladesystem, das automatisiert ist und Substrate von 2 bis 8 Zoll Durchmesser aufnehmen kann. Die HF-Stromversorgung ermöglicht hohe Abscheideraten, während die Gleichstromversorgung die Gleichförmigkeit der Folie gewährleistet. Es bietet bis zu 800 W Leistung bei 13,56 MHz Frequenz. Die dynamische Lastsperre gewährleistet den kontinuierlichen Betrieb der Einheit beim Be- und Entladen von Substraten. Es kann bis zu vier Substrate aufnehmen. Die Substrathalter sorgen für eine niedrige Temperaturgleichmäßigkeit beim Sputtern und verfügen über eine unabhängige Unterstützung von bis zu 250 kg für jeden Halter. Die Magnetfeldanordnung ermöglicht die Fokussierung der abgeschiedenen Partikel beim Kippen der Substrathalter. Der Controller, der mit Windows-basierter Software läuft, bietet eine einfach zu bedienende intuitive Benutzeroberfläche. UNAXIS UNI 800 ECO ist eine zuverlässige, hochmoderne Maschine, die sich für eine Vielzahl von Sputteranwendungen eignet. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, und bietet eine hohe Qualität der Gleichmäßigkeit und Durchsatz. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einem idealen Werkzeug für die Großserienproduktion.
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