Gebraucht VARIAN 3118 #9358260 zu verkaufen
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ID: 9358260
Evaporator
(4) Pockets AIRCO TEMESCAL E-Guns
Manual pocket rotation
AC Glow discharge
AIRCO CV-8 Power supply
With XY sweep
VHS-6 Diffusion pump
Neutral density filter
SYCON Monitor and controller
Bell jar, 18"
Base plate.
VARIAN 3118 ist eine hochpräzise Sputteranlage mit hohem Durchsatz zum Aufbringen dünner Metallfilme auf Substrate wie Halbleiterscheiben. Als eines der VARIAN Flaggschiff Sputtersysteme bietet 3118 modernste Technologie mit außergewöhnlicher Leistung und Zuverlässigkeit. Das System besteht aus bis zu 18 magnetisch verbesserten Diodensputterquellen, die eine Vielzahl von Substraten mit Edelmetallen, Halbleitern und dielektrischen Materialien beschichten können. VARIAN 3118 verfügt über zwei digitale Temperaturregler zur präzisen Substrattemperaturregelung im Bereich von Raumtemperatur bis 500C. Eine Sechs-Positionen-Robotersubstratberührenmaschine ermöglicht effiziente Substratübertragung für die gleichzeitige Absetzung von Mehrschichtenfilmen. 3118 ist mit einem Lastschließwerkzeug ausgestattet, das einen schnellen Substrataustausch im Vakuum, schnelle Druckzyklen und eine gleichmäßige Substratheizung von Raumtemperatur bis 500C ermöglicht. Das Asset verfügt zudem über ein offenes Design, das einen einfachen Zugang zur Wartung und Anpassung ermöglicht. VARIAN 3118 Sputtermodell enthält auch eine Reihe von computergestützten Steuerungssystemen, die eine präzise Überwachung und Steuerung von Druck, Temperatur, Leistung, Abscheiderate und anderen kritischen Parametern bieten. Die ausgeklügelte Computersoftware ermöglicht die Echtzeitüberwachung und Manipulation von Abscheideparametern und sichert die Robustheit und Zuverlässigkeit der Prozessergebnisse. 3118 ist in der Lage, eine breite Palette von hochwertigen Dünnschichtmaterialien für eine Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterbauelementherstellung, mikroelektronische Verarbeitung und Dünnschichtsolarzellen zu schaffen. Die Geräte eignen sich hervorragend für den Einsatz in Forschungslabors und Produktionsstätten.
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