Gebraucht VARIAN 3119 #293704657 zu verkaufen
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Die Sputteranlage VARIAN 3119 ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Abscheidung hochwertiger, hochgleichmäßiger Dünnschichten auf Substraten in inerter oder reaktiver Umgebung. 3119 ist ein Vakuumabscheidungssystem, das zur Abscheidung unterschiedlichster Materialien wie Metalle, Legierungen und Halbleiter verwendet werden kann. Es verwendet eine Reihe von Magnetfeld-Beschränkungssystemen und eine ausgeklügelte Leistungsverarbeitungselektronik, um die Abscheidung von Schichten von Materialien in genau gesteuerten Dicken zu ermöglichen. Die Einheit umfasst eine evakuierte Kammer mit einem Edelstahlsockel und verwendet eine innovative Magnetfeld-Einschließungstechnik, um hochgleichmäßige und glatte Materialschichten zu erzeugen. Die Maschine enthält eine Elektronenstrahlquelle zum Sputtern, die dazu dient, die Materialschicht auf den zu beschichtenden Substraten zu bilden. Elektronenstrahl und Sputterabscheidung erfolgen unter kontrollierten Temperaturen, kontrollierten Energiedepositionsraten und geregeltem Abstand zwischen Elektronenstrahl und Substrat. Die Elektronenstrahlquelle sorgt für eine schnelle und gleichmäßige Beschichtung auf Substraten. Neben der Elektronenstrahlquelle ist das Sputterwerkzeug VARIAN 3119 auch mit Quellen für reaktives und nicht-reaktives Gassputtern ausgestattet. Dies ist wichtig, da das Gut sowohl unter inerten als auch unter reaktiven Bedingungen verwendet werden kann, um unterschiedliche elektrische Eigenschaften und/oder chemische Zusammensetzung der resultierenden dünnen Filme bereitzustellen. Das Modell umfasst auch eine Reihe von Sensoren und Wandlern zur Überwachung des Abscheideprozesses, wie Druck, Temperatur, Abscheiderate und Materialdicke. Das Gerät ist in einer Ultrahochvakuumkammer eingeschlossen, die abgedichtet und wärmeisoliert ist und eine Abscheidung bei Drücken bis zu 10−8 Torr ermöglicht. Die Kammer ist mit einem automatisierten Gasfördersystem ausgestattet, das die Gasversorgung sowohl für reaktives als auch für nicht-reaktives Gassputtern bereitstellt. Es gibt auch einen Plasmagenerator für reaktive Sputter- und Plasmaätzanwendungen. Das Gerät ist auch mit einer Kühlmaschine ausgestattet, um die Temperatur innerhalb der Kammer während der Abscheideprozesse zu halten. Das Werkzeug enthält eine Turbomolekularpumpe, um Luft aus der Kammer zu evakuieren, um eine Niederdruckumgebung aufrechtzuerhalten. Schließlich umfasst das Asset ein digitales Auslesen mit Datenerfassungs- und Steuerungsfunktionen, die automatisierte Abscheidungsprozesse ermöglichen. Insgesamt 3119 Sputtermodell ist ein leistungsfähiges und anspruchsvolles Werkzeug für die Herstellung von dünnen Schichten mit einem hohen Grad an Gleichmäßigkeit, Qualität und Präzision. Es bietet eine breite Palette von erweiterten Funktionen und Einstellungen, die eine effiziente und zuverlässige Herstellung von dünnen Schichten auf einer Vielzahl von Substraten in einer inerten oder reaktiven Umgebung ermöglichen.
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