Gebraucht VARIAN 3120 #9069403 zu verkaufen

VARIAN 3120
Hersteller
VARIAN
Modell
3120
ID: 9069403
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1987
Sputtering system, 6" (3) Planets Diffusion pump: VHS-250 (3) Varian DC P/S RF gen: 1kW UNIT MFC heater with controller 1987 vintage.
VARIAN 3120 Sputterausrüstung ist ein fortschrittliches Werkzeug für Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) und Physical Vapor Deposition (PVD) Prozesse. Es ist ein intuitives, fortschrittliches System, das es Anwendern ermöglicht, dünne Schichten schnell und präzise auf Hochtemperatursubstraten wie Glas, Glaskeramik, Kunststoffen und Metallen abzuscheiden. 3120 Einheit umfasst zwei unabhängige, aber gleichzeitige Sputterquellen, drei drehbare Ziele, zwei Kriechkammern und eine E-Gun-Quelle für Magnetron-Sputtern. Der gleichzeitige Betrieb zweier Magnetronquellen in der Kammer trägt zur Maximierung von Prozessausbeuten und Reproduzierbarkeit bei. Darüber hinaus sind Kammer und Komponenten so ausgelegt, dass sie die Entleerungszeit der Kammer verkürzen und die Abscheideraten auf größeren Flächen optimieren. VARIAN 3120 enthält auch eine große Hochvakuumkammer, die für eine gleichmäßige und optimale Reinigung zu jeder Zeit ausgelegt ist, was zu einer sehr sauberen und glatten Oberfläche für die Abscheidung von Dünnschichtschichten führt. 3120 Maschine verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es Benutzern ermöglichen, schnell zwischen Sputtern und anderen Prozessen zu wechseln, einschließlich Ionenimplantation, Elektronenstrahl oder Laserschmelzen und thermische Oxidation. Der Anwender kann das Werkzeug verwenden, um die Prozessparameter wie Zielstromdichte, Sauerstoffdotierungsgrad, Substratvorspannung und Temperatur jederzeit zu steuern. VARIAN 3120 beinhaltet auch erweiterte Sicherheitsfunktionen, wie ein Interlock-Asset, das sicherstellt, dass das Modell sicher zu bedienen ist. Das Gerät ist in einer unbelasteten Klimaanlage eingeschlossen, um die Temperatur und den Druck der Kammer konstant zu halten. 3120 bietet auch eine sehr hochauflösende Bildgebung, die es Benutzern ermöglicht, Bilder mithilfe ihrer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche anzuzeigen, zu bearbeiten und zu analysieren. Diese Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, Syntheseparameter schnell anzupassen, um die Filmschichten feinabzustimmen. Schließlich kann das VARIAN 3120 System einfach in automatisierte Systeme und Werksumgebungen integriert werden. Das Gerät arbeitet unter verschiedensten Prozessbedingungen mit Temperaturen von 200 ° C und Drücken von bis zu 5E-6 Torr. Damit ist es eine ideale Wahl für Massenproduktionen.
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