Gebraucht VARIAN 3180 #156923 zu verkaufen

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VARIAN 3180
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 156923
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4".
VARIAN 3180 ist eine Sputteranlage, die für eine Vielzahl einzigartiger Materialbearbeitungs- und Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System besteht aus einer Quelle, zwei Stromversorgungen, zwei Prozesskammern, zwei rotierenden Targets und einer Vielzahl optionaler Komponenten. Die Quelle ist eine Lichtbogensputter-Ionenquelle, die in der Lage ist, leitende und nichtleitende Materialien abzuscheiden, einschließlich solcher, die hochempfindlich sind und eine Vorspannung, unterschiedliche Druckbereiche und höhere Leistungsstufen erfordern. Diese Einheit hat auch die Fähigkeit, Pulsoperationen, DC oder AC-Betrieb, gepulste und resistive Substrat Vorspannung zu handhaben. Die Netzteile kommen in Regel- und Hochspannungsmodellen und können bis zu vier kV bzw. 25 mA liefern. Die beiden Prozesskammern sind mit jeweils einer einzelnen Gasleitung zur Druckregelung und getrennten Prozessanschlüssen zur Vakuum-, Sicherheits- und Gasregelung an die Quelle angeschlossen. Sie ermöglichen die Verarbeitung und Abscheidung von Materialien wie Chrom, Kohlenstoff, Wolfram und anderen Materialien mit Zwischenschichtsystemen, Mehrschichten und praktisch jeder Kombination von Elementen. Jede Kammer hat die Fähigkeit, entweder einzelnes Substrat oder mehrere Substrate gleichzeitig zu betreiben, und kann im Batch- oder Inline-Modus verwendet werden. Die Targets werden in jede der beiden Prozesskammern eingebaut und drehen sich um ihre eigene Achse, um die Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Materials zu erhöhen. Diese Maschine hat eine extrem schnelle Zerstäubungsrate und kann sogar sehr dünne Materialschichten ablegen. 3180 Tool verfügt auch über mehrere zusätzliche Optionen, wie Kristallmonitore, mehrere Probenhalter und eine Reihe von vakuumbezogenen Mess- und Kontrollsystemen. Die Gesamtsputterrate des Vermögenswertes ist äußerst zahlreich, wobei sehr dünne Schichten aus einer Vielzahl von Materialien erreicht werden. Das gesamte Modell ist auch sehr einfach zu bedienen, mit benutzerfreundlicher Oberfläche und Flexibilität für Umstellungen zwischen Abscheideprozessen. Insgesamt bietet die Sputteranlage VARIAN 3180 eine robuste und zuverlässige Plattform für die Abscheidung unterschiedlichster Materialien. Die Vielzahl fortschrittlicher Funktionen macht es extrem zuverlässig, so dass das System für eine Vielzahl von geschäftskritischen Anwendungen verwendet werden kann.
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