Gebraucht VARIAN 3180 #293746467 zu verkaufen

Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 293746467
Sputtering system.
VARIAN 3180 ist ein anspruchsvolles Sputtergerät für den Einsatz in verschiedenen Dünnschichtabscheidungsanwendungen. 3180 bietet robuste Sputterverfahren und Hochleistungs-Abscheidetechnologie in einer Vielzahl von Formaten, darunter sowohl Vakuumlichtbogen- als auch reaktive Sputtersysteme. Die integrierte Automatisierung und Touchscreen-Benutzeroberfläche vereinfachen die Bedienung und unterstützen verschiedene Benutzereinstellungen. VARIAN 3180 wurde entwickelt, um die Anforderungen fortschrittlicher Dünnschichtabscheidungsprozesse zu erfüllen und bietet überlegene Sputtereffizienz, optimierte Zielnutzung und sehr stabile Leistung. 3180 verfügt über eine fortschrittliche, optisch gekoppelte, sechsachsige Roboter montierte Stromversorgung und horizontal montierte HF-Magnetron-basierte Elektronenstrahlkanonen für hocheffiziente Substratbeschichtung. Eine integrierte Verschlussanordnung zur Abscheidesteuerung und ein integriertes Unterbrechungserkennungssystem zum Substratschutz sind ebenfalls enthalten. Der modulare Aufbau von VARIAN 3180 ermöglicht flexible Formate von bis zu 3 × 2 Ablageelementen in derselben Einheit, wodurch Kunden ihre Werkzeugkonfigurationen geografisch konfigurieren können. 3180 wird entworfen, um eine Vielfalt von hochtechnologischen dünnen Filmabsetzungsanwendungen, einschließlich dünner Filmtransistoren (TFTs), Solarzellen und fortgeschrittener Halbleitergeräte zu unterstützen. Es ist eine ideale Plattform für eine breite Palette von Halbleiterprozessen, einschließlich Metallisierung, Waferstoßen, MEMS, Nanowire und Dünnschichtabscheidung für Geräte. VARIAN 3180 unterstützt Substrate bis 200 mm Durchmesser und kann konstant mit bis zu 300W Leistung laufen. Es kommt mit einer integrierten Vakuumkammer für wiederholbaren und zuverlässigen Maschinenbetrieb. Darüber hinaus umfasst 3180 eine umfassende Reihe von Softwarefunktionen für Automatisierung und Benutzersteuerung, einschließlich automatisierter Echtzeit-Prozessüberwachung und -berichterstattung, programmierbarer Auftragsplanung und Task-Sequenzsteuerung, Rezeptsteuerung und einer leistungsstarken grafischen Benutzeroberfläche. Die Software ist flexibel konzipiert, so dass Techniker neue und bestehende Benutzereinstellungen problemlos in bestehende Prozesse integrieren können. VARIAN 3180 bietet zudem Zugriff auf Fernbedienung und sichere Datenspeicherung. Zusammenfassend ist 3180 ein leistungsstarkes Sputterwerkzeug, das mit Blick auf Flexibilität und fortschrittliche Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Die integrierte Automatisierung und die Touchscreen-Benutzeroberfläche machen den Betrieb einfach und effizient, während der modulare Aufbau und das umfassende Softwarepaket die VARIAN 3180 zu einer ausgezeichneten Wahl für verschiedene Dünnschichtabscheidungsprozesse machen.
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