Gebraucht VARIAN 3180 #293772593 zu verkaufen
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VARIAN 3180 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage für Dünnschichtabscheidung in einer Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen. Sputtern ist eine weit verbreitete physikalische Dampfabscheidungstechnik (PVD), bei der ein Zielmaterial mit energiereichen Ionen beschossen wird, um einen dünnen Film auf einem Substrat zu erzeugen. 3180 bietet eine präzise Kontrolle über den Sputterprozess, so dass Benutzer dünne Filme mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Qualität ablegen können. Zu den Schlüsselkomponenten des Sputtersystems VARIAN 3180 gehören eine Vakuumkammer, ein Targethalter, ein Substrathalter, eine Gaseinlaßeinheit und eine Stromversorgung. Die Vakuumkammer ist ein abgedichtetes Gehäuse, das eine für das Sputtern notwendige Niederdruckumgebung beibehält. Es besteht typischerweise aus Edelstahl oder anderen hochwertigen Materialien, um eine optimale Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Der Zielhalter ist ein wesentlicher Bestandteil der Sputtermaschine, die das zu zerstäubende Zielmaterial hält. Das Targetmaterial kann je nach den gewünschten Eigenschaften des Dünnfilms aus verschiedenen Metallen, Legierungen oder Verbindungen bestehen. Der Zielhalter soll eine präzise Positionierung und Steuerung über den Abstand zwischen dem Zielmaterial und dem Substrat ermöglichen und eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Substratoberfläche gewährleisten. Der Substrathalter ist ein weiterer wesentlicher Bestandteil des Sputterwerkzeugs 3180, der für das Halten und Positionieren des Substrats zur Aufnahme des abgeschiedenen Dünnfilms verantwortlich ist. Der Substrathalter kann sich drehen und neigen, um eine bessere Filmgleichmäßigkeit und -abdeckung zu erreichen, insbesondere für großflächige Substrate. Sie umfaßt üblicherweise auch ein Heizelement zur Regelung der Substrattemperatur während des Abscheideprozesses. Der Gaseinlass des VARIAN 3180 Sputtermodells ermöglicht es Benutzern, reaktive Gase in die Vakuumkammer einzuführen, um dünne Verbundfolien zu erzeugen oder die Filmzusammensetzung und -eigenschaften zu steuern. Gängige Gase bei Sputterprozessen sind Argon, Sauerstoff, Stickstoff und reaktive Gase wie Methan oder Silan. Die Gaseintrittseinrichtung ist mit Massendurchflussreglern ausgestattet, um die Gasdurchflussraten genau zu regeln und die gewünschte Gaszusammensetzung in der Kammer aufrechtzuerhalten. Die Stromversorgung ist eine kritische Komponente des Sputtersystems 3180, das die Hochspannung und den Strom liefert, die benötigt werden, um das Sputtergas zu ionisieren und die Ionen in Richtung des Zielmaterials zu beschleunigen. Die Stromversorgung steuert die Plasmaentladung und die Zerstäubungsrate, so dass Benutzer die Filmdicke und Eigenschaften einstellen können. Es ist wichtig, ein Netzteil mit ausreichender Leistungsabgabe und Stabilität zu wählen, um eine reproduzierbare und hochwertige Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten. Abschließend ist die Sputtereinheit VARIAN 3180 ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug zur Dünnschichtabscheidung in Forschung und Industrie. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und präzisen Steuerungsfunktionen ermöglicht es 3180 Anwendern, dünne Filme mit maßgeschneiderten Eigenschaften und außergewöhnlicher Qualität für eine Vielzahl von Anwendungen zu erstellen, darunter Halbleiterbauelemente, optische Beschichtungen und magnetische Speichermedien. Das robuste Design, die benutzerfreundliche Oberfläche und die Skalierbarkeit machen es zu einer bevorzugten Wahl für Forscher und Ingenieure, die nach Hochleistungs-Sputterlösungen suchen.
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