Gebraucht VARIAN 3180 #293828248 zu verkaufen

VARIAN 3180 ist eine Art Sputteranlage, mit der dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten abgelegt werden. Es ist entworfen, um überlegene Prozesssteuerung, einfache Systemintegration und überlegene Foliendicke Gleichmäßigkeit zur Verfügung zu stellen. 3180 Einheit ist in der Lage, viele verschiedene Substrate zu handhaben, einschließlich Halbleiterscheiben, Keramiksubstrate und Dünnschichtvorrichtungen. Es ist mit zwei Hochfrequenzleistungsquellen (RF), einer 13,56-MHz-Quelle zum Sputtern und einer 13,56-MHz-passenden Quelle für Substratvorspannung ausgestattet. Es verfügt auch über eine breite Palette von Zielmaterialien wie Aluminium, Gold, Kupfer, Chrom und Nickel. Die Maschine kann auch zum Ionenätzen, für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen verwendet werden. Die Vakuumkammer des VARIAN 3180 Werkzeugs besteht aus Edelstahl mit einem evakuierten Volumen von bis zu 6-6 Zoll Durchmesser. Sein dichtes Vakuum ergibt einen Basisdruck von weniger als 1x10-7 Torr, bei einem maximalen Betriebsdruck von 6x10 Torr. Es ist mit drei unabhängigen Prozesskammerkonfigurationen ausgelegt, mit der Möglichkeit, bis zu vier Magnetrons in der gleichen Kammer zu konfigurieren. 3180 Asset ist mit einer Reihe benutzerfreundlicher Software- und Hardwarekomponenten wie einem Prozessüberwachungs- und Steuerungsmodell mit Echtzeit-User-Feedback, Prozessrezeptmanagement-Geräten und einem vollständig integrierten Echtzeit-Prozessanalysesystem konzipiert. Seine fortschrittliche Kühlmitteleinheit ermöglicht eine effiziente Verlustleistung und eine schnelle Kontrolle der Kammertemperatur. Der integrierte Kühlmittelkreislauf regelt automatisch die Temperatur der Kammer. Die Maschine wurde entwickelt, um Klebe- und Haftprobleme zu minimieren und verfügt über eine automatische Prozesssteuerung mit integriertem Feedback-Tool. VARIAN 3180 Asset ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten für verschiedene Dünnschichtabscheidungsanwendungen mit überlegener Prozesssteuerung, einfacher Modellintegration und überlegener Schichtdicke Gleichmäßigkeit unterzubringen. Es ist die perfekte Wahl für jede Anwendung, die eine hochpräzise Dünnschichtabscheidung erfordert.