Gebraucht VARIAN 3180 #30959 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 30959
Wafergröße: 4"
magnetron sputtering system configured for 4" wafers, System is fully automated, cassette-to-cassette, and has high throughput, Equipped with 3 targets and an RF-sputter etch module for in-situ substrate cleaning prior to sputtering, as-is.
Die Sputterausrüstung VARIAN 3180 ist ein fortschrittliches, leistungsstarkes Sputtersystem, das für optimale Dünnschichtabscheidungsfunktionen entwickelt wurde. Diese Einheit verwendet eine Elektronenstrahl-Verdampfungsquelle, HF-Stromquelle, Inertgas und eine Kryopumpmaschine. Die Elektronenstrahlquelle dient zur Verdampfung von Metall und dielektrischen Materialien einer gewünschten Reinheit bei bis zu 4kW Leistung. Sie weist eine Vakuumkammer mit einem 8 „x8“ x8 „Arbeitsbereich und einer 7“ -Durchmesserstrahlöffnung auf. Diese Quelle ist in der Lage, Material auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 8 „mit einer Steigung von bis zu 2“ abzuscheiden. Die HF-Stromquelle erzeugt bis zu 1000 Watt Leistung für das Sputtern in 3180. Die HF-Quelle ist in Frequenz und Leistung einstellbar und ermöglicht eine sehr präzise Steuerung des Sputterprozesses. Dies sorgt für kürzere Materialabscheidezeiten, höhere Abscheideraten und einen besseren Durchsatz. VARIAN 3180 beinhaltet auch ein Inertgaswerkzeug, das in der Lage ist, eine stabile Atmosphäre im Arbeitsbereich zu schaffen. Dazu gehören sowohl Stickstoff als auch Argon bei Drücken zwischen 0,1 und 5 Torr. Dieses Gut wird verwendet, um Oxidation von abgelagerten Materialien zu verhindern, indem eine hohe Reinheitsatmosphäre in der Kammer beim Sputtern erhalten bleibt. 3180 verfügt auch über ein Kryopumpenmodell, das Ausgasungsmoleküle und alle beim Sputtern erzeugten Partikel einfängt. Dies trägt dazu bei, dass die Abscheidung von höchster Qualität ist, ohne dass kontaminierende Elemente die Genauigkeit der Abscheidung beeinflussen. Insgesamt ist VARIAN 3180 eine fortschrittliche und hochfähige Sputterausrüstung. Es bietet optimale Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten durch seine Reichweite von leistungsstarken Elektronenstrahl- und HF-Quellen sowie seine Inertgas- und Kryopumpensysteme. Dieses System ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ablagerungen mit einem hohen Durchsatz zu produzieren, was es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Dünnschichtanwendungen macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor