Gebraucht VARIAN 3180 #83197 zu verkaufen
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ID: 83197
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4"
(2) Conmag targets
Mini quantum target
Pre-heat / Degas station
EUROTHERM 808 Backside wafer heater
Tiw station shielding to prevent particle contamination
Source isolation shielding to prevent particle contamination
Backside air system replaced with NUPRO iso valves and VCR connections
DC Power supply remote meter, digital
(2) Wafer cassettes, 4"
Standard VARIAN controller
VARIAN 919 IG Controller
FLUKE 1722A Process controller with SD card reader to replace floppy drive
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A Multimeter
MKS 250B Gas controller with MKS 248 valve assembly
(3) Gas systems with MKS MFC and 247 controller
VARIAN 880 Ion gauge controller
CTI CT-8 Cryo pump with compressor
VARIAN Cryo temperature monitor
LEYBOLD D-30 Mechanical pump
(3) ADVANCED ENERGY MDX DC Power supplies
PLASMATHERM 1000W RF Generator
Handling system with etcher, 4"
10 kW Power supply for Cu
5 kW Power supply for Tiw.
VARIAN 3180 ist eine Multi-Target DC Magnetron Sputterausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen wie Filmabscheidung, Beschichtung und Oberflächenbehandlung entwickelt wurde. Dieses Sputtersystem erzeugt mithilfe von Magnetfeldern energetische Ionen, mit denen dünne Filme auf einem Substrat abgeschieden werden. Das Gerät verfügt über modernste Steuerungssoftware und -hardware, die es ermöglichen, präzise und wiederholbare Prozessergebnisse zu liefern. 3180 verfügt über eine integrierte, wartungsarme duoplasmatische Ionenquelle, die gegenüber herkömmlichen Plasmaquellen mehrere Vorteile aufweist, darunter niedrige Betriebskosten und Wartungskosten, geringe Verarbeitungsabfälle und eine konsistentere Abscheidung von Folien auf einer breiteren Palette von Substraten. Die Eigenschaften sorgen auch dafür, dass die hohe Qualität der erzielten Folien konstant und wiederholbar ist. Die DC Magnetron Sputtermaschine ist zudem mit einem integrierten, robusten Hochleistungsnetzteil ausgestattet, das es ermöglicht, höhere Abscheidegeschwindigkeiten als andere Systeme auf dem Markt zu erzielen. Dies sorgt für schnellere Prozesszykluszeiten und eine höhere Prozesswiederholbarkeit. Das Tool bietet eine Vielzahl von Sputterzielen, die den Anforderungen spezifischer Werkstoffeigenschaften entsprechen. Die Ziele sind langlebig und bieten langfristige Zuverlässigkeit und Leistung. Die Anlage verfügt auch über einziehbare Kohlenstoff-und-Graphit-Kathoden, die es ermöglichen, eine breite Palette von Substratmaterialien mit dem Modell verwendet werden und bieten überlegene Qualität Ergebnisse. VARIAN 3180 wird auch von VARIAN Multi-Target DC Magnetron Sputtergeräte Garantie unterstützt, die die Komponenten des Systems schützt, sollte eine von ihnen während des normalen Gebrauchs ausfallen. Diese Garantie erfolgt auf Kosten einer geringen Gebühr, die auf der Grundlage der Gerätegröße und der Funktionsniveaus berechnet wird. Die Steuerungssoftware 3180 bietet eine breite Palette von Optionen für die Benutzeranpassung. Benutzer können ihre Maschineneinstellungen anpassen, um die Zielgröße, Form, Position und Position sowie die aktuellen und Bias-Einstellungen zu steuern. Die Software ermöglicht auch die Erstellung benutzerdefinierter Rezepte und Programme, so dass Benutzer ihre Verarbeitungsbedingungen schnell und präzise replizieren können. Insgesamt bietet VARIAN 3180 Anwendern ein hochwertiges, kostengünstiges und zuverlässiges Sputterwerkzeug. Seine duoplasmatische Ionenquelle, seine robuste Hochleistungsstromversorgung und sein breites Spektrum an Sputterzielen ermöglichen es Benutzern, dünne Materialschichten auf einer breiten Palette von Substraten mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit abzulegen, während seine Steuerungssoftware und -hardware den Benutzern umfangreiche Benutzersteuerungsoptionen bietet. Das Asset wird durch VARIAN Multi-Target DC Magnetron Sputtermodell Garantie gesichert, um sicherzustellen, dass Komponenten abgedeckt werden, wenn sie im normalen Betrieb Schaden erleiden.
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