Gebraucht VARIAN 3180 #9004072 zu verkaufen

Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 9004072
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4".
VARIAN 3180 ist eine Hohe Rate, Gleichstrom Stottern für moderne dünne Filmabsetzungsanwendungen entworfene Ausrüstung. Es wird hauptsächlich in Branchen wie Halbleiter, Datenspeicher, Optik und industriellen Beschichtungen eingesetzt. Das System verfügt über eine 3,4 cm3, 24-Liter-Vakuumkammer, die ideal für die Beschichtung kleiner planarer Substrate oder großer kreisförmiger Substrate unter Beibehaltung einer relativ hohen Verarbeitungsrate ist. Seine Magnetron-Sputterquellen umfassten drei Lanthanhexaborid (LaB6) - und fünf Wolfram (W) -Ziele mit einer Leistungsdichte von bis zu 1000 W/cm2. 3180 verfügt außerdem über ein Stromversorgungsmodul, das in der Lage ist, einen weiten Bereich von Gleichstrom (DC) -Vorspannungen von 0-1000 Volt zu erzeugen. Dies ermöglicht eine präzise Modulation von Materialabscheidungsqualitäten wie Abscheiderate, Energie und physikalischen Eigenschaften. Als zusätzlichen Bonus bietet das Netzteil eine abnehmbare Fibremate-Zielfreigabeeinheit für die Niederdruckenergieversorgung. Die Maschine verfügt auch über eine Substrat-Temperatur-Steuerungsoption. Dies geschieht durch Einbringen einer gasströmungsunterstützten gleichmäßigen Erwärmung innerhalb der Kammer während der Abscheidung; ermöglicht eine gleichmäßige Niedertemperaturabscheidung. Der maximale Temperaturbereich ist von 20˚C bis 400˚C einstellbar. VARIAN 3180 bietet zwei steuerbare Gasleitungseinlässe, die die Steuerung von Abscheidungsparametern wie Verweilzeiten, Durchflussraten und Gaschemie ermöglichen. Diese Option macht das Werkzeug unglaublich vielseitig in einer Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Schließlich verfügt 3180 über eine ausgeklügelte grafische Benutzeroberfläche (GUI) auf seinem Touchscreen-Display. Diese GUI bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche mit Echtzeit-Überwachung von Asset-Performance und Performance-Metriken. Die GUI wurde entwickelt, um Dünnschichtabscheidungsprozesse zu optimieren und so die Identifizierung optimaler Prozessparameter zu erleichtern. Insgesamt bietet das Sputtermodell VARIAN 3180 vielseitige Funktionen und Optionen zur Vereinfachung von Dünnschichtabscheidungsprozessen. Mit seinen präzisen DC-Vorspannungsfähigkeiten, 50W/cm2 Leistungsdichte, programmierbarer Substrattemperaturregelung und robuster Benutzeroberfläche ist das Gerät eine ideale Wahl für kleine und große Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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