Gebraucht VARIAN 3180 #9077094 zu verkaufen

VARIAN 3180
Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 9077094
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1987
Sputtering system, 4" With S/E (3) Guns Datatrak controller (3) 12 Kw DC P/Ss CT-8 Cryo pump RFPP RF-10S 1987 vintage.
VARIAN 3180 ist eine leistungsstarke Sputteranlage, die für ultrahohe Reinheit und wiederholbare Ergebnisse entwickelt wurde. Es ist ein kompaktes, zuverlässiges und robustes System, das eine hervorragende Prozesssteuerung und Betriebszeit bietet. Das Gerät besteht aus drei unabhängigen Quellen, einer Sputterkammer mit Dreiziel- und Mittelfrequenzbetrieb, einer unabhängigen Sputterkammer mit Zweiziel- und Niederfrequenzbetrieb sowie einer Steuer- und Stromversorgungseinheit. Die unabhängige Twin-Target-Sputtermaschine bietet eine optimale Prozesssteuerung und eine hervorragende Gleichmäßigkeit bei der Abscheidung dünner Metallfilme auf Substraten. Die niederfrequente Leistungs- und Steuereinheit bietet eine präzise Steuerung der Parameter, die erforderlich sind, um eine konsistente Abscheidung zu erreichen. Die Dreizielkonfiguration ermöglicht eine mehrschichtige Metall- und Kulmabscheidung mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit, während die unabhängige Sputterkammer Flexibilität hinsichtlich der anwendungsspezifischen Merkmale bietet. Die Stromquelle von 3180 ist eine Mittelfrequenz-Wechselstromquelle, die eine höhere Leistung und Gleichförmigkeit liefert als typische niederfrequente Gleichstromquellen. Die Drei-Ziel-Konfiguration bietet maximale Kontrolle über die Zielleistungen und ermöglicht eine präzise Anpassung der Filmeigenschaften an jedem Ziel, was zu Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle führt. Die Kammer selbst bietet eine einzigartige keramische Wandauskleidungstechnologie, die eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Oberfläche gewährleistet, was zu einer ausgezeichneten Gleichmäßigkeit führt. Die Konstruktion beseitigt auch Interferenzen von Partikeln, was zu einer höheren Gleichmäßigkeit führt. Die Steuer- und Stromversorgungseinheit ermöglicht eine branchenübliche, benutzerfreundliche Prozesssteuerung, die eine konsistente, gleichmäßige Filmabscheidung und Wiederholbarkeit gewährleistet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über umfassende Sicherheitsmerkmale und einen umfassenden Satz von Diagnose- und Prozessüberwachungsfunktionen. VARIAN 3180 ist ein äußerst zuverlässiges, vielseitiges Werkzeug, das ein Höchstmaß an Prozesssteuerung und Betriebszeit bietet. Es ist eine zuverlässige, wiederholbare und zuverlässige Sputter-Abscheidung, die eine hervorragende Prozesskontrolle und Einfachheit bietet. Es ist ideal für Dünnschichtabscheidung und ist eine ausgezeichnete Wahl für kleine und große Produktionsanwendungen.
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