Gebraucht VARIAN 3180 #9238713 zu verkaufen

VARIAN 3180 ist eine vielseitige DC-Sputterausrüstung, die zum Abscheiden und Ätzen einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Es verwendet Permanentmagnet-Sputtertechnologie, um dünne Filme mit erhöhter Gleichmäßigkeit und erhöhter Haftfestigkeit zu erzeugen. Diese Technologie ermöglicht auch die Abscheidung komplexer Mehrschichtstapel mit präziser Molekularschichtkontrolle. 3180 ist vollautomatisiert für Prozesswiederholbarkeit und größeren Durchsatz und ist mit zwei Magnetronen und zwei Zielbaugruppen, unabhängigen oder kombinierten Ampere für jede Zielbaugruppe, Rohrkammer für thermisches Sputtern, optionaler Speicherkammer und einem intelligenten Diagnosesystem ausgestattet. VARIAN 3180 hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, einschließlich, aber nicht beschränkt auf dielektrische, metallische, Halbleiter, ferromagnetische und isolierende Materialien. Es kann eine Vielzahl von Anwendungen wie Abscheidung von optischen und elektrischen Materialien, Schutzfolien, chemisches Ätzen, Ätzen für Designänderungen und mehr durchführen. Die konstanten Stromversorgungen, die Einstellbarkeit der Leistung für jede Kathode und die Temperaturregelung ermöglichen es diesem Gerät, die Abscheidung von hochwertigen Folien zu optimieren. 3180 besteht aus einer Kammer mit 6 Zoll Durchmesser, die drei Kammerwände mit jeweils mehrgeschlitzten Kollimatoren aufweist. Die obere Wand ermöglicht die Abscheidung von Materialien auf dem Substrat, die untere Wand hilft, die Kammer zu evakuieren, und die mittlere Wand hilft bei der vertikalen Ausrichtung des Targets. Die Kammer ist mit unabhängiger Heliumspülung und Doppelklick für die Reduktion der Sauerstoffkonzentration im Prozess ausgestattet. Die Fähigkeit, den Druck während der Abscheidung von 0,001 mbar bis 1,3 mbar kontinuierlich zu variieren, hilft, die Prozessparameter genau anzupassen und die Abscheidungsrate, Filmdicke und Substratgleichförmigkeit zu optimieren. Eine breite Palette von Prozesssteuerungstechniken sind auch verfügbar, einschließlich variabler Leistung, Zieltemperaturregelung und Substratrotation für verbesserte Filmleistung. Der integrierte PC-basierte Controller bietet umfangreiche Rezeptspeicherung, Prozessmonitor und -steuerung, Echtzeit-Diagnosesteuerung und Datenlogging-Funktionen. Zusätzlich sorgt eine computergesteuerte Substratpositioniermaschine für eine präzise Substratposition. Die VARIAN 3180 verfügt über einen 4-fach Quarzkristallmonitor zur Filmdickenmessung sowie ein In-situ- und Ex-situ-Reflektivitätsmessgerät zur Echtzeitüberwachung des Abscheideprozesses. Die Anlage ist auch mit einem Ultraschallbad zur Reinigung von Probenteilen vor der Beschichtung und einer Quarzzelle für elektrische Leitfähigkeitsmessungen ausgestattet. Insgesamt bietet 3180 die effizientesten Abscheide-, Ätz- und Ionenfräsfähigkeiten in einem einzigen Modell, wodurch es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Seine Eigenschaften ermöglichen eine kontrollierte Abscheidung von Folien mit hoher Qualität und Gleichmäßigkeit bei hohem Durchsatz.