Gebraucht VARIAN 3180 #9269837 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 9269837
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4" Spare parts included.
VARIAN 3180 ist eine kompakte und effiziente Sputterabscheidung, die den Anforderungen von Labors, Forschungs- und Produktionsstätten gerecht wird. Es ist für Prozessgleichmäßigkeit und Abscheiderate optimiert und bietet Präzisionssteuerung für eine breite Palette von Materialien. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Mustern zu erstellen, einschließlich Mehrschichtfolien, gleichmäßige Beschichtung, komplexe Formen und spezielle Texturen. Das System kommt mit einer Vielzahl von Kammerkonfigurationen für verschiedene Anwendungen. Seine optimalen Abmessungen - klein genug für den Platzschutz, aber groß genug für komplexe Aufgaben - bieten eine hervorragende Kombination aus Präzision, Durchsatz und Prozesssteuerung. Es verfügt außerdem über eine Vakuumeinheit, einen temperaturgesteuerten Substrathalter und eine gut isolierte Mikrowellen-Plasmaquelle. Das einzigartige Merkmal der Maschine ist ihre Fähigkeit, komplexe Strukturen mit mehrschichtiger Abscheidung und Sputtern gleichzeitig auf dem gleichen Substrat zu bilden. Das Werkzeug besteht aus zwei verschiedenen Teilen - der Prozesskammer und der Stromversorgung. Die Prozesskammer ist so konzipiert, dass sie die gleichen Anforderungen erfüllt wie ein Asset in voller Größe. Interne Funktionen sind für überlegene Prozessgleichmäßigkeit und Durchsatz optimiert. Es wird mit langlebigen Materialien hergestellt, die Korrosion und thermischem Schock widerstehen. Die Stromversorgung ist unglaublich effizient und weist eine geringe harmonische Verzerrung auf. Es enthält drei unabhängig regulierte Vorräte: DC-Vorspannung, reaktive Vorspannung und Ionenenergie. Mit diesen Komponenten kann das Modell auch bei hohen Temperaturen und Sputterraten konstant die gewünschte Ausgangsleistung liefern. 3180 ist eine außerordentlich vielseitige Zerstäubungsvorrichtung zur fortgeschrittenen Dünnschichtabscheidung. Seine Betriebseffizienz, Benutzerfreundlichkeit und überlegene räumliche Gleichmäßigkeit machen es zu einer idealen Wahl für große und kleine Produktionsanwendungen.
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