Gebraucht VARIAN 3180 #9278289 zu verkaufen

VARIAN 3180
Hersteller
VARIAN
Modell
3180
ID: 9278289
Wafergröße: 10"
Sputtering system, 10".
VARIAN 3180 ist eine hochmoderne Sputteranlage für die Abscheidung von dünnen Folien. Es bietet hervorragende Leistung und Kontrolle für eine Reihe von Sputteranwendungen. Mit einem dreiachsigen Bewegungssteuerungssystem mit integriertem 6-Stationen-drehbarem Substrathalter sorgt 3180 für präzise Filmabscheideraten und Gleichmäßigkeit. Das Gerät verfügt über eine große 3 "(76 mm) Sputterpistole, die durch einen Rauchschild gegen Dämpfe und Partikel geschützt ist. Bis zu vier Sputterpistolen können an die Maschine angeschlossen werden, was sowohl die Abscheidung mit einem Ziel als auch mit zwei Zielen für einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. VARIAN 3180 ist mit einer Vakuum 10.1 Schnittstelle zur gleichzeitigen Überwachung und Steuerung des Abscheideprozesses ausgestattet. Dieser Regler ermöglicht es Benutzern, die Abscheiderate, die Durchflussrate, den Druck und die Temperatur zu überwachen und zu steuern. Das Werkzeug beinhaltet eine Echtzeit-Temperatur- und Frequenzregelung zur gleichmäßigen Abscheidung. Außerdem werden bis zu sieben Prozessgase unterstützt, darunter Argon, Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff und Halogene. Der Vermögenswert kann den Druck bis zu 1 x 10-4 Torr erreichen, der höchste, der durch jedes kommerzielle Sputtermodell erreicht werden kann. Damit eignet es sich für Ultrahochvakuum-Sputteranwendungen wie Dünnschicht-Photovoltaik und Mikroelektronik. Das Gerät ist mit nahezu jedem Substratmaterial kompatibel und kann Substrate bis 8 "(200 mm) Durchmesser aufnehmen. Das System verfügt über eine Graphitfadeneinheit, die auch bei hohen Betriebstemperaturen eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und niedrige Erosionsraten bietet. Die Graphitfilamentmaschine reduziert auch die Menge der Elektronen, die das Substrat erreichen, so dass es ideal für Hochtemperaturprozesse ist. Schließlich bietet 3180 hervorragende Sicherheitsfunktionen mit einem leicht zugänglichen Design für Wartung und Reparatur. Es ist auch mit einer seitlichen Bewegungssicherheit ausgestattet, die eine unerwünschte Bewegung der Sputterpistole während des Laufs des Werkzeugs verhindert. Abschließend ist VARIAN 3180 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Sputter-Asset, ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Es bietet hervorragende Leistung, Präzision und Kontrolle, mit Funktionen wie einem Vacuum 10.1 Controller, Echtzeit-Temperatur- und Frequenzregelung und einem Graphit-Filament-Modell.
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