Gebraucht VARIAN 3190 #9237465 zu verkaufen
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ID: 9237465
Wafergröße: 5"
Sputtering system, 5"
Power cabinet:
(3) Gun controls
Control cabinet
Cryo pump
Does not include compressor.
VARIAN 3190 Sputtersystem ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Gerät, das in Dünnschichtabscheidungsanwendungen verwendet wird. Es ist dazu ausgelegt, dünne Materialschichten in kontrollierter Atmosphäre auf Substrate abzuscheiden. Beim Sputtern wird Material durch plasmainduziertes Beschießen von Partikeln von einer Zielquelle auf ein Substrat übertragen. 3190 ermöglicht die Modifikation von Oberflächen mit hoher Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Vielseitigkeit. Das System bietet eine einstellbare Strahlenergie, die es Anwendern ermöglicht, die Sputterrate anzupassen, was eine Vielzahl von Filmeigenschaften ergibt. Es verwendet auch eine Multi-Table-Konfiguration, um Partikelkollisionen zwischen Targets und Substraten zu minimieren. Das erweiterte programmierbare Controller-Panel ermöglicht es Benutzern, mehrere Variablen wie Zielgröße, Form und Abstand des Ziels zum Substrat festzulegen und zu steuern. VARIAN 3190 bietet auch eine hohe Gleichmäßigkeit des Substrats durch seine Multi-Target Magnetic Shielding (MTMS) Funktion. MTMS verhindert die Beschießung des Substrats durch Streupartikel aus dem Sputterprozess, wodurch das Klemmen der abgeschiedenen Folie eliminiert wird. Es gewährleistet auch eine konsistente Ziel-Substrat-Entfernung und -Bahn von Partikeln beim Sputtern. Sicherheitstechnisch ist 3190 mit einem Schutzschild ausgestattet, das die direkte Sichtlinie blockiert, wenn ein Bediener einen Abscheidevorgang startet. Es kommt auch mit einer Abgasanlage, die Geräuschemissionen reduziert und einen gefährlich-freien Arbeitsplatz beibehält. VARIAN 3190 ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Sputterwerkzeug, das für eine Vielzahl von Abscheideprozessen eingesetzt werden kann. Es bietet eine breite Palette von einstellbaren Strahlparametern, programmierbarem Controller-Panel und MTMS-Technologie, die Anwendern die für fortschrittliche Dünnschichtabscheidungsanwendungen erforderliche Präzision bieten. Es bietet auch die fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, die für eine sichere und komfortable Arbeitsumgebung erforderlich sind.
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