Gebraucht VARIAN 3190 #9277865 zu verkaufen

VARIAN 3190 ist eine mobile Sputterausrüstung für die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung. Es verfügt über eine 6-Stationen-Prozesskammerkonfiguration und ist mit modernster Elektronik und Komponenten ausgestattet, die zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse liefern. Die Prozesskammer, die für bis zu sechs Sputterkammern geeignet ist, bietet eine unabhängige Kontrolle über jede Prozesskammer und ermöglicht einen komplexen Schichtaufbau und einfache Rezeptübertragungen. Die Kammer ist vakuumverträglich, mit einer schnellen Pumpenausfallzeit von unter 5 Minuten. Mit einem eingebauten turbo-molekularen RGA ist es in der Lage, den Kammerdruck auf Enddruck unter 10-6 Torr zu steuern. Die Kammern können mit planaren, Leitungs- oder Säulenzielen von bis zu 14 „x 8“ konfiguriert werden und bieten Leistungsstufen von bis zu 5000 Watt. 3190 ist mit einem fortschrittlichen Prozesssteuerungssystem ausgestattet, das verwendet werden kann, um die Sputterrate, den Quellstrom, die Substrattemperatur, die Abscheiderate und andere Prozessparameter zu überwachen. Die Prozesssteuereinheit ermöglicht die Optimierung von Verarbeitungsparametern, um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Die Maschine ist ein hochautomatisierter Prozess, bei dem Rezepte auf dem internen PC gespeichert werden. Dies ermöglicht die schnelle Einrichtung und Übertragung von Rezepten sowie eine einfachere Prozessverfolgung und Prozessoptimierung. Darüber hinaus ist VARIAN 3190 in der Lage, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, einschließlich Metallen, Oxiden und Nitriden, und unterstützt eine breite Palette von Abscheidungstechniken, von Gleichstrom (DC) zu Hochfrequenz (HF) Sputtern, Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR R) Sputtern und eng gekoppelt. 3190 bietet eine ausgezeichnete Auswahl für Labor- und industrielle Sputteranwendungen und bietet einen zuverlässigen, wiederholbaren Prozess mit variablen Beschichtungen und ausgezeichneten Low-K-Verarbeitungsfähigkeiten. Mit seinem robusten Design, seiner vielseitigen Prozessfähigkeit und der fortschrittlichen Prozesssteuerung ist VARIAN 3190 eines der besten verfügbaren Sputtersysteme.