Gebraucht VARIAN 3190 #9278288 zu verkaufen

VARIAN 3190 ist eine mittelgroße Multi-Target-Magnetron-Sputteranlage, die für Einzel- oder Mehrzielanwendungen entwickelt wurde. 3190 ist eine hochautomatisierte und zuverlässige Sputterplattform mit einer Reihe innovativer Funktionen zur Steigerung der Betriebseffizienz. Das Basissystem VARIAN 3190 besteht aus einem HF-Netzteil, einem DC-Netzteil, einem Hochvakuum-Aggregat und einer Einzel- oder Mehrzielsputterkammer. Das HF-Netzteil erzeugt eine Wechselspannung bei einer Frequenz von 13.56MHz mit einer maximalen Ausgangsleistung von bis zu 10kW. Das DC-Netzteil ist in der Lage, bis zu 1.5kW mit einer maximalen Betriebsspannung von -50/-120V zu versorgen. Die Hochvakuummaschine ist mit einer Hochvakuumpumpe, einer kompletten Palette von Detektoren und einem Hochvakuumwerkzeug ausgestattet. Die Sputterkammer von 3190 ist mit Hochleistungs-Hochfrequenz (HF) -Abschirmung ausgestattet, die aus einer kugelförmigen Vakuumkammer, einem Innenmagneten und Feldleitungen besteht, die eine optimale Energieübertragung von der HF-Stromquelle zu den Sputterzielen gewährleisten. Die Ziele selbst sind auf einer speziellen Trägerzielstütze montiert, die sie daran hindert, sich beim Sputtern zu bewegen. Die Support-Zielunterstützung bietet auch eine einfache Möglichkeit, Ziele zu ändern. VARIAN 3190 bietet eine Reihe von Funktionen, die es zu einem idealen Kapital für Forschung, Entwicklung und Produktionsanwendungen machen. Das HF-Netzteil bietet eine programmierbare Pulsweitenmodulation (PWM) zur präzisen Steuerung der zerstäubten Abscheiderate. Die Gleichspannungsversorgung ermöglicht eine Richtungssteuerung von zerstäubtem Material, was eine größere Flexibilität ermöglicht. Die Hochfrequenz-HF-Quelle erzeugt auch Merkmalsgrößen von bis zu 35 Nanometern. Die Sputterkammer von 3190 bietet auch eine Reihe von zusätzlichen Merkmalen. Dazu gehören die Fähigkeit, die Zieltemperatur genau zu steuern und die Fähigkeit, den Argongasdruck innerhalb der Kammer genau zu steuern. VARIAN 3190 bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich Druckverriegelung und eine Low-Flow-Abschaltung, für mehr Sicherheit und Zuverlässigkeit. 3190 Sputtermodell bietet sowohl Flexibilität als auch Genauigkeit für Sputterabscheidungsanwendungen. Es verfügt über ein zuverlässiges und leistungsfähiges Gerätedesign, das leicht in eine Reihe von Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen integriert werden kann. VARIAN 3190 ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Sputtersystem, das in einer Reihe von wissenschaftlichen und industriellen Kontexten eingesetzt werden kann.