Gebraucht VARIAN 3290 STQ #9248600 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9248600
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Sputtering system, 6"
Quantum target
2001 vintage.
VARIAN 3290 STQ ist eine reaktive Ionensputteranlage von VARIAN. Es wird für industrielle Anwendungen wie das Abscheiden von dünnen Folien auf einer Reihe von Materialien, einschließlich Halbleitern, Glas, Kunststoffen und Metallen, verwendet. Das System ist gut geeignet für Automobil-, Luft- und Raumfahrt, Medizinprodukte, Elektronik und andere Industrien, die hochwertige und zuverlässige Sputterfolien benötigen. Das Design von VARIAN 3290STQ maximiert den Prozessdurchsatz und die Gleichmäßigkeit von Sputterfolien. Das Gerät besteht aus zwei oder drei einstellbaren Targets, einem oder mehreren Argon-Planar-Magnetronen, einem High-Power-DC-Netzteil und einem Controller für genaue Parametereinstellung und -überwachung. Jedes der Targets kann mit einem separaten Magnetron ausgestattet werden, das eine unabhängige Einstellung der Magnetfeldstärke und des Ionen- zu Neutralverhältnisses ermöglicht. Die hohe Stromversorgung ermöglicht Sputterraten von bis zu 70µm/min und sorgt für hohe Abscheideraten von Qualitätsfolien. 3290 STQ bietet eine Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit. Es bietet fortschrittliche Lichtbogenpräventionstechnologie, die den traditionellen Kathodenbogen eliminiert. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht eine verbesserte Zielausnutzung, indem Parameter erkannt und eingestellt werden, wenn ein Lichtbogen erkannt wird. Die Maschine verfügt auch über ein Prozessüberwachungswerkzeug, um den Benutzer zu benachrichtigen, wenn während des Betriebs Probleme auftreten. Darüber hinaus nutzt die Anlage ein Plasmaquellen-Simulationsmerkmal, das den Ionenfluss und die Energieverteilung des Plasmas misst. Dies ermöglicht eine zuverlässige Prozesssteuerung und reduziert den Stromverbrauch und die Sputterzeit. 3290STQ umfasst auch Diagnose-, Berichts- und Gerätegesundheitsinformationen, die zur Verbesserung der Prozessstabilität und -genauigkeit beitragen. Insgesamt ist VARIAN 3290 STQ ein zuverlässiges Sputtermodell, das eine Reihe von Funktionen für maximalen Prozessdurchsatz und Gleichmäßigkeit von Sputterfolien bietet. Die fortschrittliche Lichtbogenpräventionstechnologie kombiniert mit der Prozessüberwachung und der Plasmaquellensimulation sorgen für eine konsistente und genaue Sputterabscheidung. Die Prozessdiagnose- und Reporting-Funktionen verbessern den Gerätezustand und sorgen für zuverlässige Prozesse. Hersteller, die hochwertige, zuverlässige Sputterfolien benötigen, profitieren stark von VARIAN 3290STQ.
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