Gebraucht VARIAN 3290 #148077 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 148077
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Sputtering system, 6"
(3) Quantum targets
(1) Etch
NW3000 Control system:
Components
12.1" Touch monitor
NW3000 Software with Win7
Wafer process controller
Wafer loader controller
I/O Box
Cassette motor controller:
Components
Stepping motor & Sprocket
Motor Cable
1998 vintage.
VARIAN 3290 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die zur Herstellung hochwertiger Materialabscheidung und -analyse entwickelt wurde. Es ist ein Drei-Taschen-System, das die Ablagerungen von zwei verschiedenen Materialien in zwei getrennte Taschen ermöglicht. Der Abscheideprozess wird durch ein computergesteuertes Programm von VARIAN Computeringenieuren gesteuert, das eine sehr präzise Abscheidung verschiedener Materialien auf verschiedenen Substraten ermöglicht. 3290 ist in der Lage, bis zu 500mm Metallsubstrate zu spinnen und zu halten, was es ideal für Forschung und Entwicklung (F&E) Anwendungen macht. Das Gerät verfügt über einen hochgenauen Druck- und Vakuumregler, der präzise Zerstäubungsraten und Substratgleichförmigkeit während des gesamten Zerstäubungsprozesses ermöglicht. Darüber hinaus ist es auch mit einer fünfstufigen Gasfördermaschine ausgestattet, um eine exakte und zuverlässige Gaszugabe in einer stark kontrollierten Umgebung zu ermöglichen. Auf diese Weise können Abscheidetemperaturen genau überwacht und auf überlegene Leistung gesteuert werden. Das Dreitaschen-Werkzeug verfügt über mehrere Funktionen, die für höchste Materialqualität und Homogenität sorgen. Der Einsatz der Magnetron-Sputtertechnologie ermöglicht eine extrem genaue Materialabscheidung, sei es für mehrschichtige Schichten, die eine starke Haftung erfordern, oder für eine exakte Filmdicke in verschiedenen Substraten. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, drei verschiedene Gasumgebungen zu nutzen, was schnellere Abscheidungsraten, höhere Kollimatoreffizienz, geringere Sputterleistung und höhere Materialreinheit ermöglicht. Die Integration eines fortschrittlichen optischen Inspektionsmodells ermöglicht es VARIAN 3290, die exakte Materialstärke und -verteilung zu gewährleisten. Eine optionale Vierrahmen-Kameraausrüstung ist ebenfalls verfügbar, die ideal ist, um kleine Details zu messen und superdünne Materialschichten zu identifizieren. Mit seiner Mehrzonen-Prozesssteuerungsfähigkeit ist das System auch in der Lage, feine Steigungsgenauigkeit und ausgezeichnete Abscheidungsgleichmäßigkeit zu erreichen. 3290 ist eine zuverlässige und langlebige Einheit, die überlegene Leistung in jeder Anwendung bietet. Es ist eine einfach zu bedienende und zu wartende Maschine, da es Wartungsdiagnosen und Kalibrierwerkzeuge wie Speicherzuordnung, Echtzeitüberwachung und genaue Bildschirmmessungen umfasst. Das Tool wird auch mit einer umfassenden Bedienungsanleitung geliefert, die eine detaillierte Anleitung für die Bediener bietet.
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