Gebraucht VARIAN 3290 #9075491 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9075491
Weinlese: 6"
Sputtering system, 6"
(3) Target assemblies: Conmag II
Station 1: Heated etch with AE RF-10 power supplies
Station 2: Heater table with conmag II
Station 3: Heater table with conmag II
Station 4: Heater table with conmag II
(4) Temperature controllers: EUROTHERM 818
Controller: FLUKE 1722A modified with flash drive and floppy drive
Multimeter: AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A
Ferrofluidic transfer plate feedthru grade
(3) Ferrofluidic shutter feedtrhu upgrades
Ion gauge controller: VARIAN 880
Remote power supply panel, digital readout
Etch matching unit controller with digital readout meters
RF RWD & REFL Remote meter panel
Cryo pump: CTI CT-8 with SC compressor
Does not include dry scroll mechanical pump
Power supplies:
Target 1: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 2: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 3: inner 2.5kW, outer 12kW
1989 vintage.
VARIAN 3290 ist eine hochmoderne Ausrüstung, die hochpräzise Sputterverfahren auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm ermöglicht. 3290 ist die ultimative Lösung für Forschungs- und Produktionsanwendungen, die eine präzise Kontrolle des Abscheidungsprozesses erfordern. Es vereint die Vorteile von hoher Geschwindigkeit, ausgezeichneter Zielausnutzung, Einfachheit der Bedienung, Flexibilität und Verdampfungsfähigkeit. Das System VARIAN 3290 ist vollautomatisiert und ermöglicht eine zuverlässige Abscheidung und wiederholbare Ergebnisse. Es bietet auch eine umfassende Palette von Substraten bis 300mm Durchmesser und ist kompatibel mit Standard-Sputtertargets einschließlich Oxiden und Metallen. Seine hochpräzise Einheit ermöglicht eine feinere Kontrolle des Abscheidungsprozesses, wodurch Anwender komplexe mehrschichtige Architekturen mit unterschiedlichen Materialien und Dicken erstellen können. 3290 Maschine verwendet ein Magnetron-Sputterverfahren, um Materialbeschichtungen abzuscheiden. Das Werkzeug ist mit einer Einfadenkathoden-Sputterpistole ausgelegt, die mit einem HF-Netzteil betrieben wird. Diese Pistole verwendet ein rotierendes Magnetfeld, um die beim Sputtern erzeugten Bögen zu steuern und eine hohe Prozesseffizienz zu erzielen. Die Verwendung einer HF-Vorspannung kann höhere Abscheidegeschwindigkeiten ermöglichen. Die Anlage wird vollständig mit einem Gasinerting-Modell integriert, das einen sauberen und sicheren Betrieb gewährleistet. Es verfügt über eine integrierte Hochvakuumkammer, die Luftströmung und Reinheit steuert, sowie eine automatische Pumpenoption für garantierte Folienqualität. Darüber hinaus trägt eine Wasserrückführungsanlage dazu bei, die optimale Temperatur während der Prozesse aufrechtzuerhalten und so vor Überhitzung und potentiell schädigenden Komponenten zu schützen. VARIAN 3290 verfügt über ein intuitives Steuerungssystem, das exzellente Prozessdatenauslesungen und Prozesssteuerung bietet. Dazu gehören manuelle und automatische Abscheidungsüberwachung sowie Alarme und Sicherheitsmaßnahmen, die die Sicherheit des Benutzers gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht die Einheit die gleichzeitige Herstellung mehrerer Filmarchitekturen und liefert detaillierte Informationen zu jedem Prozess. Insgesamt ist 3290 eine zuverlässige Möglichkeit, exakte, wiederholbare Filmabscheidungsergebnisse zu erzielen. Seine erweiterten Fähigkeiten haben es zu einer beliebten Option für Forschungs- und Produktionsanwendungen gemacht, mit seiner hochpräzisen Steuerung und flexiblen Architekturoptionen. Es ist die perfekte Lösung für jeden Sputterprozess.
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