Gebraucht VARIAN 3290 #9094690 zu verkaufen

VARIAN 3290 ist eine kompakte, vollautomatische Sputterausrüstung, die von VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. 3290 entwickelt wurde, um Substrate mit einer breiten Palette von Materialien zu sputtern und zur Abscheidung von Metallen, Oxiden, Legierungen und anderen Verbindungen verwendet werden kann. Das System bietet vielseitige Sputterkonfigurationen, die an verschiedene Anforderungen an die Abscheideleistung angepasst werden können. VARIAN 3290 ist eine Einkammereinheit mit integriertem Laderaum. Das Innere der Kammer ist aus Edelstahl gefertigt und für bis zu vier separate Sputterquellen versorgt. Die Kammer enthält eine E-Match-Maschine zur Steuerung des Prozessgasstroms. Das Werkzeug umfasst auch Merkmale wie einen vorsputternden Substratreiniger und ein robotergesteuertes rotierendes Substratkarussell. 3290 ist mit einer Reihe von erweiterten Steuerungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet. Diese Eigenschaften ermöglichen es dem Benutzer, Prozessparameter wie Druck, Sputterdruck, Prozesszeit, Leistung, Spannung, Strom und Abstand zwischen dem Substrat und der Sputterquelle einfach anzupassen. Darüber hinaus steht eine VES2-compatible Computerschnittstelle zur Fernsteuerung des Assets zur Verfügung. Mit den Überwachungsmerkmalen von VARIAN 3290 können in jedem Prozessschritt Qualitätsergebnisse sichergestellt werden. Das Modell umfasst einen eingebauten Partikelzähler, einen linearen variablen Differenztransformator (LVDT), eine Quarzkristall-Mikrowaage (QCM) und optische Überwachungsanschlüsse. Mit dem QCM lassen sich insbesondere Adsorption-Desorption-Isothermen und quantitative Oberflächenqualitätsbewertungen messen. 3290 bietet eine breite Palette von Sputteranwendungen. Es ist ideal für Sputtern mit hohem Durchsatz, wie Sputterbeschichtung von Solarzellen, HFETs, FETs, MEMS, Nanodrähten, Nanopartikeln und Dünnschichttransistoren. Das Gerät ermöglicht auch die Sputterabscheidung von isolierenden, leitfähigen und halbleitenden Materialien. VARIAN 3290 ist ein effektives und vielseitiges Sputtersystem. Mit seinen fortschrittlichen Steuerungs- und Überwachungsfunktionen ist es die ideale Einheit, um qualitativ hochwertige Beschichtungsergebnisse zu erzielen. Egal ob Anwender Metall, Oxide, Legierungen oder andere Verbindungen ablegen müssen - 3290 bietet die perfekte Sputterlösung.