Gebraucht VARIAN 3290 #9139677 zu verkaufen

VARIAN 3290
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9139677
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
Die Sputterausrüstung VARIAN 3290 ist ein einzigartiges Instrument zur Herstellung von Metall- und dielektrischen Dünnschichtabscheidungen. Es ist speziell für die Herstellung von hochwertigen Metall- oder dielektrischen Dünnschichten und Hochtemperatur-planaren MOS-Geräten konzipiert. 3290 bietet Hochdurchsatz-Sputtern von Metallen und Dielektrika von einem bis vier Targets, mit einem Leistungsbereich bis zu 5kW. Dieses System ist in der Lage, eine breite Palette von Sputterhintergründen zu bieten, indem in situ Steuerung der Badparameter. Das Rückgrat der VARIAN 3290 ist die integrierte Vakuumerzeugungseinheit, die einen ultraschnellen Vakuumdurchsatz mit einem Betriebsbereich bis zu 1 x 10-10 Torr bietet. Diese Maschine verfügt auch über eine Multifaceted Abscheidekammer, die High Performance Magnetic Circular Ionization (HPMCI) verwendet, um die Gleichmäßigkeit des Substrats zu gewährleisten. Es wird auch von einer niedrigen Betriebskosten VARIAN DC Sputter Source angetrieben, die den Energieverbrauch senkt und gleichzeitig hohe Abscheidezeiten beibehält. Neben den grundlegenden Eigenschaften bietet 3290 eine breite Palette von optionalen Geräten. Dies beinhaltet eine Reihe von Sensorumgebungen, die die direkte Messung von Temperatur, Druck und den elektrischen Eigenschaften des abgeschiedenen Materials ermöglichen. Dieses Werkzeug verfügt außerdem über einen Dynamic Film Measurement Asset, der die präzise Steuerung der Charakterisierung verschiedener Materialien während der Abscheidung ermöglicht. Das Modell verfügt zudem über eine hochentwickelte Serverausrüstung, die die Fernsteuerung des gesamten Sputterprozesses ermöglicht. Es ist in der Lage, bis zu 8 Targets gleichzeitig zu steuern und bietet automatisierte Datenerfassungsfunktionen. Es hat auch eine ausgeklügelte Vacuum Leak Detection Funktion, die eine schnelle und einfache Lecksuche ermöglicht. VARIAN 3290 ist für hohe Haltbarkeit gebaut und produziert hochwertige dünne Folien mit einer maximalen Dicke von 2µm. Es wird durch eine Reihe von Kundenservice-Optionen unterstützt, einschließlich Vor-Ort-Wartung und Validierungen. Das System ist in der Lage, wiederholbare Ergebnisse ohne häufige Kalibrierungen oder Modifikationen zu erzielen, was es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Hochleistungsmaterialien macht.
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