Gebraucht VARIAN 3290 #9148904 zu verkaufen

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VARIAN 3290
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9148904
Wafergröße: 6"
Cassette sputtering systems, 6" ConMag targets.
Die Sputteranlage VARIAN 3290 ist ein hochmodernes Abscheidegerät für Dünnschichtanwendungen wie Magnetooptik und transparente Leiter. Dieses DC-Sputterwerkzeug wird hauptsächlich zur Abscheidung von Metalloxidfilmen verwendet, kann aber auch Metalle und andere Materialien abscheiden. Das System besteht aus einer Ionenpistole, einem Sockel und einer Kammer. Mit der Ionenpistole wird ein Plasmafeld zur Anregung von Atomen aus dem Zielmaterial erzeugt, die dann auf das Substrat abgeschieden werden. Der Sockel dient zur Abstützung von Substrat und Zielmaterial in der Bearbeitungskammer. Die Kammer selbst wird abgedichtet und mit Argongas beaufschlagt, um eine saubere und sichere Zerstäubungsumgebung zu gewährleisten. 3290 verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einer idealen Einheit für Dünnschichtsputtern machen, einschließlich einer patentierten aktiven Zielkühlmaschine. Dieses Werkzeug sorgt dafür, dass Zielmaterialien schnell gekühlt werden können, was eine gleichmäßige Abscheiderate und eine effizientere Kühlung als Standard-Zielkühlsysteme ermöglicht. Darüber hinaus ist dieser Vermögenswert in der Lage, unter einem breiten Spektrum von Bedingungen laufen. Es kann mit einem Bereich von Drücken und Temperaturen von 3 mTorr bis 5 Millitorr und 0-50 Celsius betrieben werden. Damit ist VARIAN 3290 ein ideales Modell für eine Vielzahl von Prozessen wie reaktives Sputtern, Mehrschichtabscheidung und Pulssputtern. Dieses Gerät bietet auch ein robustes Prozessleitsystem, das in der Lage ist, hochwertige Folien mit einer breiten Palette von Zusammensetzungen herzustellen. 3290 Sputtereinheit bietet auch eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören Sicherheitssysteme wie ein Druck-/Vakuumventil, Not-Aus-Taste und eine HF-Abschaltung. Zusätzlich ist die Kammer mit einer hermetischen Dichtung ausgebildet, die das Einbringen gefährlicher Schadstoffe oder Partikel in die Abscheidungsumgebung verhindert. Dadurch wird sichergestellt, dass die Sputtermaschine innerhalb ihrer vorgesehenen Parameter sicher arbeitet. Insgesamt ist VARIAN 3290 ein zuverlässiges und robustes Sputterwerkzeug mit einer Vielzahl von Funktionen und Funktionen. Diese Anlage bietet hochwertige Ablagerungen und gleichmäßige Folien über einen weiten Bereich von Temperaturen und Drücken. Darüber hinaus ist das Modell mit Sicherheitsmerkmalen ausgelegt und ausgestattet, um sicherzustellen, dass es sicher innerhalb seiner vorgesehenen Parameter läuft. Als solches ist 3290 ein ideales Abscheidungsinstrument für verschiedene Dünnschichtanwendungen.
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