Gebraucht VARIAN 3290 #9154648 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9154648
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #1: HARD ETCH
Process station #2: ALSI
Process station #3: ALSI
Process station #4: ALSI
Process station cathode configuration:
Station #1: Etch
Station #2: Con-Mag 2
Station #3: Con-Mag 2
Station #4: Con-Mag 2
Heater configuration:
Heater type (All Station): DC BIAS
Heater controller (All Station): (3) Eurotherm 808, (1) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
RF Gen. station #1: RF-10S (1KW max)
Inner PSU station #2: 2.5 KW
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #3: 2.5 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #4: 2.5 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8150
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
Die Sputterausrüstung VARIAN 3290 ist ein fortschrittliches Mehrkomponenten-Abscheidewerkzeug, mit dem dünne Filme erzeugt werden. Kern des Systems ist das Magnetron-Sputterbauelement, das eine magnetisch abgeschirmte Kathode mit konzentrischer Spulenanordnung verwendet. Dadurch entsteht ein starkes Magnetfeld in der Nähe der Kathodenoberfläche, das die Emission von Elektronen in Richtung des Sputtertargets lenkt und einen sehr gleichmäßigen, oft ertragsstarken Abscheidungsprozess ermöglicht. Das Gerät ist mit mehreren Komponenten und Merkmalen ausgestattet, die die Abscheidung verschiedener Substanzen ermöglichen. Beispielsweise kann die Form der Kathode mit einer einstellbaren Konfigurationsplattform angepasst werden, um einen optimierten Abscheideradius zu erzeugen. Zusätzlich kann das Sputterzielmaterial so programmiert werden, dass es für maximale Klebewirkung optimiert und sogar auf spezifische Anwendungsbedürfnisse zugeschnitten wird. 3290 ist mit drei Hauptkomponenten zur Hochgeschwindigkeitsabscheidung dünner Filme ausgestattet. Die erste ist eine Dual-Magnetron-Sputterpistole, die zwei hocheffiziente Abscheidezonen bietet. Die zweite ist eine Induktionsspule, die Lichtbogen verhindert und mit einer Stromversorgung verbunden ist, um das Zerstäubungsziel vor dem Zerstäuben zu erwärmen. Schließlich ist die dritte Komponente ein Kammersiebmechanismus zur Steuerung der Ionen innerhalb der Kammer, wodurch die Abscheidungsrate erhöht wird. VARIAN 3290 verwendet eine Computer-Pilot-Schnittstelle zur einfachen Steuerung und Anpassung der Maschine. Dies ermöglicht eine genaue Kontrolle von Druck, Frequenz, Spannung und Temperatur, so dass Benutzer den Abscheidungsprozess optimieren können. Darüber hinaus kann das fortgeschrittene Diagnosesubsystem bestimmte elektrische oder mechanische Fehlfunktionen erkennen und den Benutzer sofort benachrichtigen. Insgesamt ist 3290 ein leistungsstarkes, Mehrzweck-Sputterwerkzeug, das entwickelt wurde, um hohe Erträge an dünnen Filmen abzuscheiden. Seine variable Konfigurationsplattform, Dual-Magnetron-Pistole, einzigartige Kammer-Screening-Mechanismus und präzise Computer-Pilot-Schnittstelle machen es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Sputteranwendungen.
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