Gebraucht VARIAN 3290 #9174775 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9174775
Sputtering system With FLUKE Controller (2) Conmag II target systems With RF etchVIPs Onboard CTI8 pump 9600 Compressor Roughing pumps: No
Die Sputterausrüstung VARIAN 3290 ist einzigartig entworfen, um robuste, hochleistungsfähige und fortschrittliche Sputter- und Verdampfungsfunktionen für eine breite Palette von Materialien und Anwendungen zu bieten. Dieses hohe Leistungsniveau wird durch seine sorgfältig konzipierten, hochwertigen Komponenten erreicht, die ein präzisionsgesteuertes DC-Hochfrequenznetzteil, eine Auswahl aus drei Turbo-gepumpten und turbomolekulargepumpten Ultrahochvakuumstufen (UHV), eine One-Touch-Steuerung über Sputterkammern und Vakuumstufen sowie eine Vielzahl fortgeschrittene Funktionen schritte umfassen. Die hohe Leistung von 3290 wird durch seine fortschrittlichen Konstruktions- und Konstruktionselemente, einschließlich seiner vollständig hermetisch abgedichteten Trennventile, die mit nicht brennbaren und ungiftigen pneumatischen und elektrischen Katalysatoren ausgestattet sind, und seine Hochvakuumkammer ermöglicht, die eine Kombination aus einer evakuierten Argonumgebung und einem einzigartigen Heizsystem umfasst. Darüber hinaus ist die Stromversorgung hocheffizient und präzise gesteuert, während die Sputterkammern eine präzise, zuverlässige Substratsteuerung bieten. VARIAN 3290 bietet auch eine breite Palette von Anwendungen, einschließlich Dünnschichtabscheidung, Sputtern von Metallen und Oxiden, Verdampfen und Ätzen. Die Einheit ist in der Lage, eine präzise und gleichmäßige Abscheidung von polykristallinen und monokristallinen Targets zu ermöglichen und kann auch zur Dünnschichtabscheidung auf starren und flexiblen Substraten verwendet werden. Das temperaturgesteuerte Substratfutter macht es ideal für Hochtemperaturprozesse und seine benutzerfreundlichen Funktionen ermöglichen schnelle Rüst- und Betriebsprozesse. 3290 verfügt auch über Dual-Source-Betrieb, wodurch zwei verschiedene Substrate gleichzeitig gesputtert werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass die maximale Prozessgeschwindigkeit bei minimalen Ausfallzeiten erreicht wird und der Anwender die Abscheideparameter besser kontrollieren kann. Darüber hinaus bietet die Maschine eine präzise Rückkopplung auf Druck- und Vakuumniveau, was eine präzise und zuverlässige Prozesssteuerung ermöglicht. Insgesamt ist VARIAN 3290 ein hochzuverlässiges, fortschrittliches Sputterwerkzeug, das eine Reihe von sehr vielseitigen und effizienten Abscheidefunktionen bietet. Das robuste Design, die präzise Steuerung und die benutzerfreundlichen Funktionen machen es für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungen, Sputtern und Verdampfungsanwendungen geeignet.
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