Gebraucht VARIAN 3290 #9226265 zu verkaufen

VARIAN 3290
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9226265
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1989
Sputtering system, 5" 1989 vintage.
VARIAN 3290 ist eine trockene, elektrostatische Hochvakuum-Sputteranlage, die die Abscheidung von Dünnfilmbeschichtungen ermöglicht. Das System bietet drei Abscheidetechniken - Gleichstrom (DC), pulsmodulierter Gleichstrom (PMDC) und Hochfrequenz (RF) - in einer einzigen, in sich geschlossenen Einheit. Die Einheit erzeugt ein Plasma aus Beschichtungsmaterial und Ar-Gas innerhalb der Vakuumkammer, das dann zum Substrat hin beschleunigt wird. Das Beschichtungsmaterial ist in der Regel eine Legierung - wie Titan, Chrom und Aluminium -, obwohl andere Metalle und Nichtmetalle verwendet werden können. Beim Sputtern erodieren positiv geladene Ionen im Plasmabombard das Zielmaterial, wobei anschließend ein Teil der emittierten Partikel in eine Beschichtung auf dem Substrat integriert wird. 3290 Maschine besteht aus einer Pumpeinheit, Stromversorgung, Controller, mehrere Ziele, HF-Werkzeug und Temperatur- und Vakuum-Überwachungsausrüstung. Es verfügt je nach Anwendung über zwei oder vier Magnetrons mit einer Leistung von jeweils bis zu 100 Watt. Die Magnetrons sind mit der Stromversorgung gekoppelt, um die notwendige Spannung und den Strom für die Sputterabscheidung bereitzustellen. Die Regler bieten einstellbare Leistungsstufen, Zielauswahl und Substrattemperaturregelung. Die Anlage verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, die Modellstörungen verhindern sollen. Die Spannung kann auf maximal 5 kV begrenzt werden, und die Leistung wird in eingestellten Abständen überwacht, um eine Überhitzung zu verhindern. Das Gerät ist auch mit einer automatischen Druckentlastung ausgestattet, um einen sicheren Betrieb bei übermäßiger Gasansammlung zu ermöglichen. VARIAN 3290 wird in mehreren Größen geliefert, um eine Vielzahl von Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 500 mm und einem Gewicht von bis zu 50 kg aufzunehmen. Es ist auch benutzerfreundlich und kann programmiert werden, um Sputtern zu bestimmten Zeiten für längere Läufe zu ermöglichen. Die Portabilität des Systems und seiner Komponenten macht es ideal für Feldanwendungen. Insgesamt ist 3290 eine leistungsstarke Sputtereinheit, die zuverlässig und einfach zu bedienen ist. Es ermöglicht das Ausfüllen oder Beschichten einer breiten Palette von Substraten mit verschiedenen Materialien, und seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale ermöglichen einen zuverlässigen und sicheren Betrieb.
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