Gebraucht VARIAN 3290 #9227752 zu verkaufen

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VARIAN 3290
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9227752
Wafergröße: 6"
PVD System, 6" Configuration: PC (3) PM AC Rack Compressor.
VARIAN 3290 ist eine High-End-Sputter-Beschichtungsanlage, die der wachsenden Nachfrage nach höherer Qualität, kosteneffizienter und zuverlässiger Dünnschichtabscheidungstechnologie gerecht wird. Dieses System verfügt über eine breite Palette von einstellbaren Parametern, um eine gleichmäßige Beschichtung während des gesamten Sputterprozesses zu gewährleisten. Es ist mit einem einteiligen Aluminiumrahmen entworfen, um ausgezeichnete Stabilität und Vibrationsbeständigkeit zu gewährleisten, und enthält eine aktive vibrationsbeständige Steuereinheit, um genaue und präzise Ablagerungen zu gewährleisten. 3290 Sputterbeschichtungsmaschine ist mit zwei prozessoptimierten Kammerkonfigurationen konfiguriert, um Prozessflexibilität und Produktionseffizienz zu ermöglichen. Die beiden Kammeroptionen; Standard (ETC-1) und Advanced (ETC-2), sind entworfen, um eine Vielzahl von Verarbeitungstechniken wie Magnetron- und DC-Sputtern, plasmaverbessernde Ionenstrahlabscheidung, Elektronenstrahlabscheidung und thermische Verdampfung zu unterstützen. Dieses Tool unterstützt auch Verarbeitungstechniken für eine große Auswahl an Materialien aus Metallen und darunter, Ti, Al, Cu usw., Dielektrika, organische Materialien und Keramik. Die Anlage besteht aus einer vakuumdichten Kammer und einem HF-passenden Netzwerk mit bis zu 3 unabhängigen Stromquellen für anspruchsvolle Prozesssteuerungsstrategien. Ein Touchscreen-fähiges Bedienfeld mit Echtzeit-Graphing, Diagnose und Fehlerbehebung ermöglicht eine enge und effiziente Überwachung des Abscheideprozesses. Der erweiterte Druckbereich von VARIAN 3290 (10−11 bis 10−3 mbar) ermöglicht sowohl die Hoch- als auch die Niederdruckverarbeitung zur Unterstützung des Einsatzes von Gasen und organischen Stoffen. 3290 bietet auch eine breite Palette von Optionen wie Roll-to-Roll-Systeme, fortschrittliche Substrat-Handling-Systeme, und eine Vielzahl von spezialisierten Feature-Anforderungen. Dieses Modell kann auf spezifische Anforderungen für Forschung, Prototyping oder hochvolumige Beschichtungsanwendungen wie Leiterplatten, integrierte Schaltungen, Flachbildschirme und magnetische Aufzeichnungsmedien zugeschnitten werden. VARIAN 3290 ist für ein hervorragendes Prozessverständnis sowie wiederholbare und zuverlässige Prozessergebnisse konzipiert. Darüber hinaus machen seine Effektivität und Flexibilität es zu einer beliebten Wahl für viele Industrie-, Forschungs- und Verbraucheranwendungen.
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