Gebraucht VARIAN 3290 #9236340 zu verkaufen

VARIAN 3290 Sputter Equipment ist ein Gerät zum Abscheiden von dünnen Schichten aus Metall, dielektrischen oder isolierenden Materialien auf verschiedenen Substraten. Das wird meistenteils für die Präzision dünne Filmüberzuganwendungen in der Halbleiterindustrie, der Festplattenproduktion, dem Elektronikzusammenbau und den anderen Mikroherstellungsprozessen verwendet. 3290 Sputter System ist eine Einzelkammer, Hochvakuum-Abscheidungseinheit, die dünne Filme in einer Ultrahochvakuumumgebung mit extrem geringer Prozessionenverschmutzung abscheiden kann. Es ist mit der Cel-Chamber-Technologie (Inertgassputtern) konzipiert, die hilft, eine stabile und hohe Abscheidungsrate zu erhalten. Diese Maschine verfügt über acht Cel-Kammerquellen, die bis zu zwölf Materialziele aufnehmen können. Es verfügt über eine breite Palette von Prozesskammeroptionen, einschließlich Kryo-Pumpen, Rotationssubstrate und Silizium-Stepper für eine präzise gleichmäßige Filmabscheidung und Waferausrichtung. Das Tool verfügt über eine digitale Prozesssteuerung und Datenprotokollierung, die es Anwendern ermöglicht, Abscheideparameter genau zu überwachen und die Daten für die nachfolgende Analyse aufzuzeichnen. Dies sorgt für Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Dünnschichtabscheidungsprozess. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein integriertes Prozesssteuerungsmodell, mit dem wichtige Prozessparameter wie Vakuumdruck, Abscheiderate und Temperatur überwacht werden können. VARIAN 3290 ist auch mit einem optionalen Verschmutzungsmonitor ausgestattet, der Echtzeit-Rückkopplung von Abscheidebedingungen wie Prozessgasleitungen, Prozessdruck, Substrattopographie und Flussgleichförmigkeit bietet. Weitere Optionen sind mehrere Gasleitungen für interne oder externe Gasversorgungen und eine programmierbare PVS-Kammer (Vaporized Source). Zusammenfassend ist 3290 Sputter Equipment ein Hochvakuum-Abscheidungssystem, das für präzise Dünnschichtbeschichtungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist mit einer digitalen Prozesssteuereinheit und Datenprotokollierung ausgestattet, um Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Dünnschichtabscheidungsprozess zu gewährleisten. Es ist in der Lage, dünne Filme unterschiedlichster Materialien in einer Ultrahochvakuumumgebung mit extrem geringer Prozessionenverunreinigung abzuscheiden. Darüber hinaus ist es mit einem integrierten Verschmutzungsmonitor und verschiedenen Merkmalen wie Kryopumpen, Drehsubstraten und einer PVS-Kammer ausgestattet. All diese Eigenschaften machen VARIAN 3290 zur idealen Wahl für die Dünnschichtabscheidung.