Gebraucht VARIAN 3290 #9236342 zu verkaufen

VARIAN 3290 ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung von VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. Das System ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich der Herstellung von dünnen Schichten, der Herstellung von Verbundhalbleiterbauelementen und der Mikrofertigung. 3290 bietet eine Reihe einzigartiger Merkmale, wie seine patentierte Magnetron-Sputtertechnologie, die die Sputterraten erhöht und dünne Schichten mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Haftung erzeugt. Darüber hinaus verfügt die Einheit über eine integrierte Plasmaätzfähigkeit mit programmierbaren Prozessgrößen und Endpunktdetektion, um die Prozesssteuerung weiter zu erhöhen. Dieses Plasmaätzverfahren kann verwendet werden, um schmale Gräben und feine Merkmale zu erzeugen. Darüber hinaus hat VARIAN 3290 dank seines breiten Spektrums an Netzteilen eine hohe Abscheiderate. Es kann eine breite Palette von Kammergrößen aufnehmen, von 6-Zoll bis 14-Zoll, mit bis zu vier Sputterquellen. Mit dem einstellbaren Neigungsmerkmal können die Sputterquellen genau auf das Substrat ausgerichtet werden. Die Maschine verfügt außerdem über eine schnelle Substratheizfähigkeit mit integriertem Thermoelement und PID-Steuerung, die eine Temperaturregelung bis auf 25 ° C ermöglicht. 3290 verfügt außerdem über ein fortschrittliches computerbasiertes Prozesssteuerungstool, das die Prozessentwicklung und Ertragsoptimierung vereinfacht, indem der Bediener auf Prozessdaten und Trendanalysen in Echtzeit zugreifen kann. Ein digitales Laser-Interferometer-Asset ist ebenfalls integriert, um die Ausrichtung und Gleichmäßigkeit der Bruttodicke zu messen und zu überwachen und gleichzeitig eine präzise Kontrolle der Endpunktdicke und Schichtdicken bis zur hohen Genauigkeit auf Nanometerebene zu ermöglichen. Das Modell ist auch mit einer breiten Palette von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Es verfügt über zweistufige Benutzerauthentifizierung, Eindringlingsüberwachung, eine Brandmeldeausrüstung, Temperaturüberlastschutz und ESD/EMI-Schutz. Darüber hinaus wurde das VARIAN 3290-System so konzipiert, dass es den FDA-Standards entspricht, um eine außergewöhnlich sichere und produktive Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist 3290 Sputtereinheit eine fortschrittliche Lösung mit einer breiten Palette von Funktionen entwickelt, um die Produktionskapazitäten zu verbessern und die Prozesskontrolle zu erhöhen. Sein innovatives Magnetron-Sputterverfahren, integrierte Plasmaätzfähigkeit, verschiedene Kammergrößen, einstellbare Neigungsfunktion, schnelle Substratheizung, fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine und Laser-Interferometer-Werkzeug machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.