Gebraucht VARIAN 3290 #9236365 zu verkaufen

VARIAN 3290 ist ein modernes Sputtergerät, das auf die Bedürfnisse von Halbleiter- und Dünnschichtbenutzern zugeschnitten ist. Das System ist in der Lage, Dünnschichtabscheidung einer Vielzahl von Materialien, wie Metall, Dielektrikum, Silizium und Halbleiter, entweder Niederdruck-Sputter-Abscheidung oder Ionenstrahl-Sputter-Abscheidung Techniken. Es gibt auch eine Begleiteinheit VARIAN 3300, die für Ultrahochvakuumprozesse konzipiert ist und schnellere Abscheideraten ermöglicht. 3290 verfügt über einen modularen Aufbau, so dass es neu konfiguriert werden kann, um eine Vielzahl von Anforderungen zu erfüllen. Es kann leicht mit einer Vielzahl von rotierenden und kippenden Magnetronkonfigurationen konfiguriert werden, wodurch die Abscheidung von Oxid-, Nitrid- und Metallfilmen auf verschiedenen Substraten ermöglicht wird. Die leistungsstarken Elektromagnete innerhalb der Maschine ermöglichen hohe Dichte und gleichmäßige Abscheideraten. VARIAN 3290 ist auch mit zwei verschiedenen Typen von Gleichstrom (DC) -Netzteilen ausgestattet: die Standard-Trockenstromversorgung und die leistungsstärkere Nassstromversorgung. Das trockene Netzteil bietet überlegene Abscheideeigenschaften, da es hocheffizient ist und schmale Stromimpulse ermöglicht. Die Nassstromversorgung eignet sich für Prozesse, die einen höheren Ionisationsfluss für verbesserte Ablagerungen erfordern. Das Werkzeug verfügt zudem über eine vollständig anpassbare temperaturgesteuerte Stufe, die eine präzise Substraterwärmung während des Betriebs ermöglicht. Die Stufe kann verschiedene Temperaturprofile aufnehmen, um eine optimale Abscheidung dünner Filme auf dem Substrat zu gewährleisten. Darüber hinaus können 3290 eine Vielzahl von Substraten aufnehmen, von komplizierten Nanomaterialien bis hin zu großflächigen mikroelektronischen Substraten. Zusätzlich ist die Anlage mit zwei unterschiedlichen Lastschlössern für effiziente Substratübertragungs- und Reinigungsprozesse ausgestattet. Die Lastschlösser sind mit einem fortschrittlichen Kühlmodell ausgelegt, das die genaue Kontrolle der Temperaturen im gesamten Gerät gewährleistet. Dieses Kühlsystem schützt auch die empfindlichen Komponenten in der Einheit vor mechanischer Beanspruchung. Insgesamt ist VARIAN 3290 eine hochgradig anpassbare Sputtermaschine, die für die präzise Abscheidung von dünnen Filmen über eine Vielzahl von Materialien und Substraten entwickelt wurde. Gleichzeitig ermöglichen der modulare Aufbau und die fortschrittlichen Komponenten maximale Effizienz und Kontrolle während des Betriebs. Das Werkzeug eignet sich hervorragend für eine Vielzahl von Halbleiter- und Dünnschichtanwendungen.