Gebraucht VARIAN 3290 #9236366 zu verkaufen

Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9236366
Sputtering system Main power distribution box.
VARIAN 3290 ist eine Sputteranlage, die in der Halbleiter- und Materialindustrie weit verbreitet ist, um dünne Filme aus Metallen, Halbleitern, Oxiden und anderen Materialien abzuscheiden. 3290 verwendet eine breite Palette von Konfigurationsoptionen, um eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen durchzuführen. Es ermöglicht eine präzise Steuerung und verfügt über eingebaute Sicherheitsfunktionen, um zuverlässige und vorhersehbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der hohe Wirkungsgrad trägt zur Senkung der Materialkosten und Produktionskosten bei. Es arbeitet mit hoher Prozessgenauigkeit, Wiederholbarkeit und Kontrolle, was für Dünnschichtstrukturen von Bedeutung sein kann, bei denen auch kleine Variationen große Auswirkungen haben können. VARIAN 3290 verwendet eine hocheffiziente Triode-Magnetron-Sputterquelle. Diese Art des Sputterns ermöglicht eine sehr gleichmäßige Abscheidung über große Substrate, so dass es ideal für größere effiziente Leiterplatten ist. Das System ist mit einer Hochleistungskathode ausgestattet, um Elektronen für das Sputtern zu beschleunigen. Diese Kathode kann bis zu 30 kW effektiven Ionenstrom erzeugen und bietet auch bei niedrigen Sputterdrücken ein breites Spektrum an Aktivitäten. Die hocheffiziente Substratheizeinheit von 3290 verwendet Induktionsspulen, um die Substratoberfläche zu zielen. Dies ermöglicht eine gleichzeitige Substrattemperaturregelung und Substratdrehung, wodurch eine gleichmäßige Erwärmung und Filmdicke gewährleistet ist. Sowohl die Substrattemperatur als auch die Substratrotation können während des Sputterprozesses eingestellt werden, um eine gleichmäßige Abscheidung zu erhalten. VARIAN 3290 verfügt über erweiterte Statusanzeigen, so dass Benutzer Betriebsbedingungen überprüfen und Probleme schnell beheben können. 3290 enthält auch ein rezeptgesteuertes Verfahren, um alle Prozessschritte zu automatisieren und die Prozessqualitätskontrolle sicherzustellen. Dies erleichtert die Replikation früherer Abscheidungsparameter und reduziert das Risiko von Substratschäden während der Abscheidung. Insgesamt ist VARIAN 3290 eine fortschrittliche Sputtermaschine, die sich ideal für die Material- und Halbleiterindustrie eignet und stark zum Abscheiden von dünnen Schichten aus verschiedenen Materialien und Komponenten für dynamische Anwendungen verwendet wird. Seine hohe Effizienz, zuverlässige Prozesssteuerung, hohe Gleichmäßigkeit und statische Abscheidung machen es zu einer wertvollen Option für viele verschiedene Anwendungen.
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