Gebraucht VARIAN 3290 #9245003 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9245003
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Sputtering system, 6"
Dual cassette loader
6000 Micron long lift heater
With digital heater controller
(3) Quantum sources per station
With (3) 12kW CPI power supplies, P/N: 04-716796-01
Cassette motor controller
Multi gauge controller
(2) MKS 250B Gas controllers
CTI On-board cryopump
CTI 8200 Compressor
(2) Process shields
Turbo load lock option
Chiller
(2) Metal cassette
RF-10S Generator and Etch option
VIPS Option
Target remove tool
Chamber wall shield remove tool
1988 vintage.
VARIAN 3290 ist eine hochmoderne Sputteranlage von VARIAN Semiconductor. Es ist in der Lage, hochwertige Materialien für die Mikroelektronikindustrie herzustellen. 3290 ist zum Abscheiden dünner Materialfilme auf Halbleiterscheiben in einer Vakuumumgebung ausgelegt. Es ist mit einzelnen oder zwei Sputterquellen, variablen Stromversorgungen, Ionenätzquelle und Hochvakuumpumpsystem ausgestattet, um eine umfassende Vakuumprozesslösung bereitzustellen. VARIAN 3290 verwendet Elektronenzyklotronresonanz (ECR), um eine gleichmäßige Abscheidung von Materialien mit hoher Rate zu erreichen. Das ECR-Verfahren ermöglicht eine stärkere Kontrolle der Geschwindigkeit, Dicke und Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Materials für eine bessere Leistung. Das Gerät bietet auch trockene und nasse Prozesse an, wobei die nassen Prozesse mehrere Plasmaätzungen umfassen, um hochauflösende Schichten auf Materialien zu erzeugen. 3290 verfügt über mehrere Funktionen für Sicherheit und Komfort, einschließlich einer eingebauten Hardware-Überwachungsmaschine, Vakuummessanschlüsse und höhenverstellbare Plattformen. Darüber hinaus umfasst VARIAN 3290 ein automatisiertes Prozesssteuerungstool, mit dem prozessbezogene Probleme in Echtzeit identifiziert und behoben werden können. Operatoren können auch Prozessparameter für jeden Auftrag anpassen, z. B. Rate, Ablagerungszeit und Ablagerungsdicke, um die bestmöglichen Ergebnisse zu gewährleisten. 3290 ist eine zuverlässige und kosteneffiziente Sputteranlage, die eine beispiellose Kontrolle über die Rate und Gleichmäßigkeit des hinterlegten Materials bietet. Es verfügt über mehrere Funktionen für Sicherheit und Komfort, und sein hochautomatisiertes Prozesssteuerungsmodell macht es einfach, alle prozessbezogenen Probleme zu beheben. VARIAN 3290 ist für die qualitativ hochwertige Abscheidung auf Halbleiterscheiben konzipiert, um höhere Erträge und verbesserte Leistung in der Mikroelektronikindustrie zu erzielen.
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