Gebraucht VARIAN 3290 #9273814 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9273814
Sputtering system, 6" With PC (3) Process modules AC Rack Compressor Particle reduction option Water pump option CTI 8F Cryo pump Utility box Power supply type: 12kW (Gen1) RF Bias option DC Bias with heater EUROTHERM Heater controller FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller Controllers: FLUKE 1722A with floppy diskette Wafer Load Controller (WLC) Wafer Process Controller (WPC) ARGON MKS-250B Controller Wafer Heater Controller (WHC) EUROTHERM Heater controller Thin film monitor Thermocouple gauge control Interlock and interface chassis Vacuum system control Ion gauge control Cryo temperature monitor Power distribution chassis Low voltage power supply Master interconnect RF Etch monitor Phase mag discriminator Electrical utility box Mechanical utility box Wafer handler utility box DC Power supplies: 12kW RF Generator IKW: RFPP RF-10 Bias option heater block Mechanical pump CTI Cryo pump and compressor Coaxial feedthrouh type HI-Vac valve Source power meter Cassette motor controller RF Matching controller Wafer handler assy No loadlock turbo control No VIPS turbo controller Metal cassette missing.
VARIAN 3290 ist eine Sputteranlage, die von der VARIAN Corporation entworfen und entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System ermöglicht eine präzise Steuerung des Dünnschichtabscheidungsprozesses. Es bietet ausgezeichnete Präzision in der Materialabscheidung und überlegene Kontrolle der Reinigungsprozesse. 3290 Einheit ist eine dreiteilige Einheit. Das Materialquellenmodul ist dort, wo Materialien wie Metalle, Legierungen und Oxide mit vorgegebenen Geschwindigkeiten in die Maschine eingespeist werden. Nach dem Einspeisen von Materialien in die Materialquelle erfolgt der Prozess innerhalb der beheizten Kammer, wo das Substrat platziert wird. Der dritte Teil, das Stromversorgungsmodul, liefert ein einstellbares HF-Signal, das eine Wechselwirkung zwischen dem Substrat und dem Material erzeugt und schließlich den Dünnfilm des gewünschten Materials auf das Substrat bildet. Das Werkzeug bietet eine hohe Kontrolle über den Abscheidevorgang, dies umfasst mehrere Betriebsfrequenzen, Temperaturregelung und einstellbare Durchflussraten. Dieses hohe Maß an Kontrolle und Präzision wird durch innovative Stromversorgungstechnologie, präzise Magnetfeldmetriken und die Pulsed Plasma-Enhanced Sputter-Technologie erreicht. Zusätzlich ist das Asset mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen Oberfläche aufgebaut, die die Kontrolle über die Setup-Parameter des Modells sowie die Überwachung der Parameter in Echtzeit ermöglicht. Das Gerät ist mit einer Reihe unterschiedlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet, wie z.B. einem systemeigenen Sicherheitsstoppknopf sowie einer automatisierten Überdruckschutzeinheit. Die Sicherheitsmerkmale sind darauf ausgelegt, den sicheren Betrieb der Maschine zu gewährleisten und gleichzeitig die Integrität der betroffenen Materialien zu gewährleisten. Dadurch wird die Qualität der Ablagerungen gewährleistet. Das Tool ist eines der zuverlässigsten und fortschrittlichsten Sputtermittel auf dem Markt. Es ist auch eines der benutzerfreundlichsten Systeme, so dass es einfach zu lernen und anschließend in verschiedenen Anwendungsfällen zu verwenden. VARIAN 3290 eignet sich für viele verschiedene Dünnschichtabscheidungs- und Verwendungsanwendungen und bietet optische Beschichtungen, Folien und mehr von höchster Qualität für eine Vielzahl von Branchen. Dieses Modell bringt jedes Labor näher an die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung und schafft einen größeren Wettbewerbsvorteil.
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