Gebraucht VARIAN 3290 #9273814 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9273814
Sputtering system, 6"
With PC
(3) Process modules
AC Rack
Compressor
Particle reduction option
Water pump option
CTI 8F Cryo pump
Utility box
Power supply type: 12kW (Gen1)
RF Bias option
DC Bias with heater
EUROTHERM Heater controller
FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller
Controllers:
FLUKE 1722A with floppy diskette
Wafer Load Controller (WLC)
Wafer Process Controller (WPC)
ARGON MKS-250B Controller
Wafer Heater Controller (WHC)
EUROTHERM Heater controller
Thin film monitor
Thermocouple gauge control
Interlock and interface chassis
Vacuum system control
Ion gauge control
Cryo temperature monitor
Power distribution chassis
Low voltage power supply
Master interconnect
RF Etch monitor
Phase mag discriminator
Electrical utility box
Mechanical utility box
Wafer handler utility box
DC Power supplies: 12kW
RF Generator IKW: RFPP RF-10
Bias option heater block
Mechanical pump
CTI Cryo pump and compressor
Coaxial feedthrouh type
HI-Vac valve
Source power meter
Cassette motor controller
RF Matching controller
Wafer handler assy
No loadlock turbo control
No VIPS turbo controller
Metal cassette missing.
VARIAN 3290 ist eine Sputteranlage, die von der VARIAN Corporation entworfen und entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System ermöglicht eine präzise Steuerung des Dünnschichtabscheidungsprozesses. Es bietet ausgezeichnete Präzision in der Materialabscheidung und überlegene Kontrolle der Reinigungsprozesse. 3290 Einheit ist eine dreiteilige Einheit. Das Materialquellenmodul ist dort, wo Materialien wie Metalle, Legierungen und Oxide mit vorgegebenen Geschwindigkeiten in die Maschine eingespeist werden. Nach dem Einspeisen von Materialien in die Materialquelle erfolgt der Prozess innerhalb der beheizten Kammer, wo das Substrat platziert wird. Der dritte Teil, das Stromversorgungsmodul, liefert ein einstellbares HF-Signal, das eine Wechselwirkung zwischen dem Substrat und dem Material erzeugt und schließlich den Dünnfilm des gewünschten Materials auf das Substrat bildet. Das Werkzeug bietet eine hohe Kontrolle über den Abscheidevorgang, dies umfasst mehrere Betriebsfrequenzen, Temperaturregelung und einstellbare Durchflussraten. Dieses hohe Maß an Kontrolle und Präzision wird durch innovative Stromversorgungstechnologie, präzise Magnetfeldmetriken und die Pulsed Plasma-Enhanced Sputter-Technologie erreicht. Zusätzlich ist das Asset mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen Oberfläche aufgebaut, die die Kontrolle über die Setup-Parameter des Modells sowie die Überwachung der Parameter in Echtzeit ermöglicht. Das Gerät ist mit einer Reihe unterschiedlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet, wie z.B. einem systemeigenen Sicherheitsstoppknopf sowie einer automatisierten Überdruckschutzeinheit. Die Sicherheitsmerkmale sind darauf ausgelegt, den sicheren Betrieb der Maschine zu gewährleisten und gleichzeitig die Integrität der betroffenen Materialien zu gewährleisten. Dadurch wird die Qualität der Ablagerungen gewährleistet. Das Tool ist eines der zuverlässigsten und fortschrittlichsten Sputtermittel auf dem Markt. Es ist auch eines der benutzerfreundlichsten Systeme, so dass es einfach zu lernen und anschließend in verschiedenen Anwendungsfällen zu verwenden. VARIAN 3290 eignet sich für viele verschiedene Dünnschichtabscheidungs- und Verwendungsanwendungen und bietet optische Beschichtungen, Folien und mehr von höchster Qualität für eine Vielzahl von Branchen. Dieses Modell bringt jedes Labor näher an die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung und schafft einen größeren Wettbewerbsvorteil.
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