Gebraucht VARIAN 3290 #9375148 zu verkaufen

VARIAN 3290
Hersteller
VARIAN
Modell
3290
ID: 9375148
Sputtering system ECS Control RF Etcher with (3) deposition stations CTI-CRYOGENICS On-Board 8 Cryo-pump AGILENT Turbo pump VIPS With low voltage RF ignition Gen 2.5 Air cooled power supplies.
VARIAN 3290 ist eine Sputteranlage für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen. Es nutzt Funktionen wie eine Kombination aus HF- und DC-Sputter-Stromquellen, um hochkonforme und gleichmäßige Dünnschichtbeschichtungen auf Substraten zu ermöglichen. Das System verfügt auch über planare und drehbare Sputter-Targets, die die Abscheidung einer oder mehrerer Materialschichten auf Substraten in hohen Anteilen ermöglichen. 3290 ist mit Hochvakuumpumpen und Gasminderungssystemen ausgestattet, die Wachstums- und Abscheidungsprozesse mit hoher Geschwindigkeit ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine kompakte Bauweise, die einen geringen Platzbedarf an einem benutzerfreundlichen und ergonomischen Arbeitsplatz ermöglicht. VARIAN 3290 verfügt über eine computergesteuerte frequenzbasierte Sputterleistungsregelmaschine, die die maximale Abscheiderate für jeden Prozess ermöglicht. Das Tool enthält auch eine einstellbare Turbo-Sputteranlage, die sowohl für die HF- als auch für die DC-Sputterabscheidung verwendet werden kann. Das Modell ist mit einer elektromagnetischen Sputterverschlusssteuerung ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, die Sputterleistung und Abscheiderate genau zu steuern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein intuitives digitales Inertgaseinspritzsystem, das eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. 3290 verwendet auch eine fortschrittliche Sputtergaseinheit, die eine präzise Steuerung des Sputterflusses und der Substrattemperatur ermöglicht. Die Maschine verfügt über ein Temperierwerkzeug mit geschlossenem Regelkreis, das eine präzise Temperaturregelung der Substratoberfläche ermöglicht. Zusätzlich enthält die Anlage eine dynamische Drucksteuerung, die eingestellt werden kann, um die richtigen Drucksteuerungen für die gewünschte Beschichtungsrate bereitzustellen. VARIAN 3290 bietet die höchsten Sputterkonzentrationen pro Flächeneinheit als alle anderen vergleichbaren Systeme. 3290 ist eines der modernsten verfügbaren Sputtersysteme und kann für hochkonforme und einheitliche Dünnschichtabscheidungsprozesse verwendet werden. Das Modell nutzt eine breite Palette von Sputter-Netzteilen, um verschiedene Parameter wie Substrattemperatur und Oberflächendruck zu steuern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein verstellbares Turbosputtersystem und eine frequenzbasierte Sputterleistungssteuerung sowie eine intuitive Inertgaseinspritzmaschine. Das Werkzeug enthält auch eine dynamische Druckregelung, um die gewünschten Beschichtungsraten zu erreichen.
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