Gebraucht VARIAN 3290 #9398805 zu verkaufen

VARIAN 3290 Sputterausrüstung ist ein vielseitiges, leistungsstarkes Abscheidungssystem, das für eine breite Palette von Anwendungen der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) konzipiert ist. Das Gerät bietet eine präzise Steuerung von Abscheideraten und Prozessparametern, schnelle Abscheideraten und genaue Gleichmäßigkeit bei großen Proben sowie einen robusten und zuverlässigen Betrieb. 3290 ist eine modulare PVD-Maschine mit einer Vielzahl von Zusatzmodulen und Komponenten zur Unterstützung spezifischer Anwendungen oder Prozesse. Das Werkzeug umfasst eine Hochleistungs-Sputterpistole, ein HF- oder DC-Netzteil, die Möglichkeit, die Prozessparameter zu überwachen, und eine integrierte Speicherkammer mit bis zu vier Arbeitskammern. Die Kammern können ausgestattet werden, um herkömmliche Sputterabscheidung, Multi-Target-Sputtern und Dual-Target-Abscheidung, reaktives Sputtern und eine Vielzahl zusätzlicher Konfigurationen zu betreiben, wenn sich die Prozessanforderungen ändern. Um eine überlegene Einheitlichkeit zu gewährleisten, bietet der Vermögenswert eine automatische Uniformitätskompensation (AUC) an, um Gleichmäßigkeit über das Substrat zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet das Modell eine hochpräzise Temperaturregelung mit Prozesstemperaturen von Raumtemperatur bis über 1000 ° C sowie Temperaturstapelfähigkeit für optische und konforme Folienschichten. VARIAN 3290 ist für den Betrieb von bis zu 10 Torr bei Vakuumstufen von 1x10-7 Torr mit einer Pumpgeschwindigkeit von bis zu 30 Litern pro Sekunde ausgelegt und entspricht den neuesten RoHS-Standards für die Materialkompatibilität. Das Gerät wird durch eine Kombination aus einem digitalen Schrittmotor (DMS), einem Linearmotor (LM) und einem Analogmotor (AM) mit offener Schleife angetrieben, um eine schnelle und genaue Bewegungssteuerung zu gewährleisten. Für maximale Sicherheit umfasst 3290 erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein integriertes Sicherheitsverriegelungssystem, externe Nothaltefunktionen und einen eingebetteten Controller. Der Controller bietet eine einfache und wiederholbare Einrichtung der Einheit sowie die Möglichkeit, die Sputterparameter und Abscheidungsparameter nach Bedarf anzupassen. VARIAN 3290 ist eine vielseitige und zuverlässige PVD-Maschine, mit der eine Vielzahl von Schichtmaterialien wie Metalle, Legierungen, Oxide und Dielektrika hergestellt werden können. Das Tool eignet sich ideal für Anwendungen in den Bereichen Mikroelektronik, Optoelektronik, Luft- und Raumfahrt und Verteidigung, Automobil und Industrie. Das Asset ist für eine einfache Wartung konzipiert und kann für höhere Leistung und verbesserte Prozesskontrollfunktionen aktualisiert werden.