Gebraucht VARIAN 3290ST #293628007 zu verkaufen

Hersteller
VARIAN
Modell
3290ST
ID: 293628007
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" Quantum targets VIPS Etch station CTI Cryopump, 8" 9600 Compressor Datatrak control system.
VARIAN 3290ST ist eine robuste, leistungsstarke Sputteranlage, die zum Aufbringen hochwertiger Dünnschichten auf Substrate konzipiert ist. Es verwendet ein innovatives Dual-Magnetron-Prinzip, um einen einheitlichen und hoch kontrollierbaren Abscheidungsprozess zu schaffen. Dies ermöglicht die Abscheidung verschiedener Materialien, einschließlich leitfähiger, isolierender und magnetischer, auf Substrate unterschiedlicher Formen, Größen und Zusammensetzungen. VARIAN 3290 ST besteht aus einer Kammer und einem vakuumgesteuerten Abscheidekopf. Die Kammer ist hermetisch abgedichtet und enthält ein niederohmiges Magnetron sowie zwei Triodenelektrodensätze. Zur Aufrechterhaltung des Vakuumniveaus ist eine Turbomolekularpumpe enthalten. Das Magnetron sorgt für ein gleichmäßiges Sputterfeld und ermöglicht kontrollierbare Abscheidegeschwindigkeiten. Es verfügt auch über ein einstellbares Prozessgassteuerungssystem, um die optimale Umgebung für eine optimale Folienqualität zu gewährleisten. Der Abscheidekopf besteht aus zwei Spulensätzen, die ein Magnetfeld erzeugen. Der erste Satz von Spulen wird verwendet, um einen Plasmaleistungsimpuls auf das Substrat aufzubringen, während der zweite Satz verwendet wird, um ein gleichmäßiges Sputterfeld zu erzeugen. Das Sputterfeld ist in der Lage, eine gleichmäßige Energieverteilung über die Substratoberfläche zu erzeugen, was zu einer hohen Abscheiderate und einer definierten Filmqualität führt. Diese Einheit ist sowohl für Vakuum- als auch für Atmosphärendruckprozesse ausgelegt. Seine Prozessgassteuermaschine ermöglicht die Einstellung unterschiedlicher Gasflussraten sowie des Drucks, des Verhältnisses, der Vorspannung und der Temperatur. 3290ST ist auch mit einem fortschrittlichen Steuerungstool ausgestattet, das eine optimale Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit gewährleistet. 3290 ST ist eine zuverlässige und kostengünstige Sputteranlage, die sich ideal für hochwertige Dünnschichten eignet. Sein fortschrittliches Design bietet eine verbesserte Folienqualität und Prozesskontrolle sowie eine lange Lebensdauer. Mit seiner hohen Leistung ist es ideal für Anwendungen in der Automobil-, Luft- und Raumfahrt-, optischen und Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor