Gebraucht VARIAN 3290 STQ #9134775 zu verkaufen

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Hersteller
VARIAN
Modell
3290 STQ
ID: 9134775
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" Entity target configuration: Process station #2: ALSICU Process station cathode configuration: Station #2: Quantum(Ratating magnet) Heater configuration: Heater type (All Station): DC BIAS Heater controller(AII station): Eurotherm 808 x 1, Eurotherm 3508 x 2 Power supply configuration: Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW System vacuum configuration: Compressor: Model 9600 8R Cryo pump: Yes Water pump: No Software configuration: User's guide: ECS 3000 Version: 96.204.10U1 Floppy drive: 3.5" Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290 STQ ist eine leistungsstarke Sputteranlage für Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Dieses System verwendet Prozesskomponenten, um Materialien magnetisch beschossen und auf Substrate aufzubringen, mit präzisen Schichtdicken und präziser Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat. VARIAN 3290STQ unit umfasst eine Vielzahl von Komponenten, die für dünne Filme aus verschiedenen Metallen, Dielektrika und anderen Materialien entwickelt wurden. 3290 STQ enthält eine ovale Vakuumkammer, die eine hochwertige Vakuumumgebung erzeugt. Diese Kammer besteht aus Edelstahl und ist mit O-Ringen versiegelt und mit einer Vielzahl von Blickwinkeln und Diagnostik ausgestattet. Im Inneren der Maschine befinden sich zwei asymmetrische Hochdruckmagnetrons, mit denen Materialien auf das Substrat gesputtert werden. Die Magnetrons sind in der Lage, eine hohe Sputterrate bei minimaler Erosion der Substrate bereitzustellen. Das Werkzeug umfasst auch zwei Substrathalter, mit denen sicher positioniert und positioniert und auf mehreren Substraten gleichzeitig gespritzt werden kann. Zur präzisen Steuerung der Foliendicke umfasst 3290STQ einen automatischen Foliendickenregler. Dieser Controller dient zur Überwachung und Steuerung der Sputterabscheiderate, wodurch eine Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat gewährleistet ist. Zum Asset gehört auch ein Computercontroller, mit dem Benutzer ihre eigenen Ablagerungsrezepte programmieren und für die zukünftige Verwendung speichern können. Dieser Controller macht es auch einfach, Prozesse während der Filmabscheidung zu überwachen und anzupassen, sowie ein detailliertes Protokoll der Abscheidungsdaten zu pflegen. VARIAN 3290 STQ Modell ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich unterbrochener Abscheidungsüberwachung und einem Gaslecksucher. Der unterbrochene Abscheideregler ist so ausgelegt, dass er das Gerät automatisch abschaltet, wenn der Filmabscheidevorgang unterbrochen oder unterbrochen wird, wodurch Beschädigungen des Systems und des Substrats vermieden werden. Der Gaslecksucher ist so ausgelegt, dass er potentielle Leckagen von Komponenten innerhalb der Einheit erkennt und den Benutzer alarmiert, wodurch sichergestellt wird, dass die Vakuumkammer abgedichtet und leckfrei bleibt. VARIAN 3290STQ Maschine ist ein vielseitiges und zuverlässiges Sputterwerkzeug, entworfen, um qualitativ hochwertige dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden. Diese Anlage eignet sich gut für zahlreiche Anwendungen, darunter Flachbildschirme, Dünnschichttransistoren, optoelektronische Bauelemente und MEMS-Bauelemente. Mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen und der präzisen Prozesskontrolle ist 3290 STQ ein ideales Werkzeug für Forscher und Hersteller, die hochwertige Dünnschichten erstellen möchten.
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