Gebraucht VARIAN E17045261 #9126495 zu verkaufen

VARIAN E17045261
Hersteller
VARIAN
Modell
E17045261
ID: 9126495
Ring, chuck.
VARIAN E17045261 ist eine leistungsstarke Sputteranlage, die sich ideal für Dünnschichtabscheidungsanwendungen eignet. Dieses System ist eine kathodengestützte Sputtertechnologie, die fortschrittliche Foliengleichmäßigkeit, geringen Energieverbrauch und verbesserte betriebliche Langlebigkeit für maximale Leistung bietet. E17045261 ist eine Singlequelle, Doppel-Magnetron stotternde Einheit, die einen hoch effizienten, niedrige Stromquelle verwertet, um Filme auf Substraten effektiv abzulegen. Diese Maschine ist mit einer erweiterten Multi-Pocket-Source-Baugruppe ausgestattet, die eine gleichzeitige Abscheidung von Material aus mehreren Quellen in die Abscheidekammer ermöglicht. Durch den Einsatz mehrerer Quellen werden Verschmutzungen von einer Quelle zur anderen eliminiert, wodurch die Abscheidungsdicke der Folie auf dem Substrat gesteuert wird. Die Multi-Pocket-Quelle sorgt zudem für eine hohe Prozessgleichförmigkeit über das Substrat. Dieses Tool wurde entwickelt, um die Produktionserträge durch die fortschrittliche Steuerung von Source/Catode-ICs und die Temperaturregelung zu optimieren und die Genauigkeit der Folieneigenschaften sicherzustellen sowie Ausfallzeiten oder Betriebskosten zu reduzieren. Durch die Steuerung von Quellenleistung, Strom, Spannung und Temperatur legt VARIAN E17045261 Filme effizient mit perfekter Filmgleichförmigkeit und ausgezeichneter Schrittabdeckung ab, was zu überlegenen mechanischen und elektrischen Eigenschaften führt. Zum Asset gehört auch eine Sputter-Assist-Kammer, die mehr Kontrolle über das Wachstum von Folien auf Siliziumbasis ermöglicht. Diese Sputter-Support-Funktion hilft bei der Steuerung der Oxidation der growingSi-Folien und ermöglicht einen effizienteren Einsatz von Materialien. Darüber hinaus reduziert die Sputterassistenzkammer den Bedarf an überschüssigen SiSiO2 Vorläufern, was während des gesamten Abscheidungsprozesses zu stark reproduzierbaren Wachstumsraten führt. E17045261 ist eine ausgezeichnete Wahl für Dünnschichtabscheidungsanwendungen, da sie fortschrittliche Prozesssteuerung und effiziente Substratabdeckung mit niedrigen Betriebskosten kombiniert. Dieses Modell bietet auch erhebliche Vorteile hinsichtlich Materialeinsparung und Prozessgleichförmigkeit, was eine effektive Abscheidung auch komplexer Merkmale mit schnelleren Abscheidezyklen ermöglicht, was zu einem erhöhten Durchsatz und geringeren Kosten führt. Das erhöhte Kontrollvertrauen dieser Ausrüstung sorgt dafür, dass Folien mit nahezu perfekter Genauigkeit und hervorragenden mechanischen und elektrischen Eigenschaften abgeschieden werden können.
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