Gebraucht VARIAN M2I #293813097 zu verkaufen
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VARIAN M2I ist ein High-End-Sputter mit mehreren Achsen, hergestellt von VARIAN Systems, Inc. Das System wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Sputterbeschichtungen auf verschiedenen Substraten wie Metallen, Halbleitern, Kunststoffen und Keramiken zu liefern. VARIAN M 2 I verwendet eine indirekte DC-Magnetron/Arc-Target-Konfiguration in einer dreiachsigen Roboterplattform. Diese Konfiguration sorgt für optimale Prozesskompetenz und fortschrittliche Beschichtungen Sputter Abscheidung Fähigkeiten. Die Maschine verfügt über eine geschlossene Werkzeugsputterabscheidekammer mit einer acht Zoll großen Substratstufe, einem 5-13 bewaffneten Roboterarm, 3 Doppelspitzen, Robotersputterpistolen und acht indigitalen Prozessreglern. Der Roboterarm ermöglicht es dem Asset, sowohl komplexe als auch großflächige Substrate zu sputtern, unter Beibehaltung konsistenter Schichtdicke und Qualität. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein Druckregelmodell mit einem Bereich von +/-3 mTorr und ein Gasein-/-ausgang-Teilsystem, das einen schnellen gepulsten oder kontinuierlichen Gasstrom bereitstellt. Die digitale SPC-Einheit von M2I verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen, die es der Ausrüstung ermöglichen, sowohl reaktive Sputterabscheidung als auch reine, passive Sputterabscheidung einzubeziehen. Darüber hinaus verfügt das Instrument über ein integriertes Dreikammer-Vakuum-Subsystem, das bei der Abscheidung einen hohen Sauberkeitsgrad und einen niedrigen Hintergrundgasdruck gewährleistet. Dieses Teilsystem kann auch für Rezepte verwendet werden, die mehrere Materialien benötigen. M 2 I bietet eine breite Palette von zusätzlichen Funktionen, um den Abscheidungsprozess weiter zu optimieren und zu rationalisieren. Dazu gehören ein programmierbarer Zielheizer, mit dem das Ziel auf die gewünschte Sputtertemperatur erwärmt werden kann, und ein Echtzeit-Prozessmonitor, der die verschiedenen Sputterparameter in Echtzeit anzeigt. VARIAN M2I ist ein fortschrittliches, mehrachsiges Sputterabscheidungssystem, das hochwertige Sputterbeschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Metallen, Halbleitern, Kunststoffen und Keramiken, liefert. Das Gerät verfügt über eine Acht-Zoll-Substratstufe, einen 5-13 bewaffneten Roboterarm, drei Doppelspitzen, Robotersputterpistolen und eine Druckkontrollmaschine. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine digitale SPS-Einheit mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen und ein Dreikammer-Vakuum-Subsystem, das eine optimale Sauberkeit und einen niedrigen Hintergrundgasdruck gewährleistet. Schließlich verfügt VARIAN M 2 I über eine programmierbare Zielheizung und eine Echtzeit-Prozessüberwachung, um die Prozesskompetenz und die Sputter-Abscheidungsfähigkeit von Beschichtungen weiter zu verbessern.
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