Gebraucht VARIAN M2I #9272644 zu verkaufen

VARIAN M2I ist ein multifunktionaler Ionenimplantator und -monitor, der für eine effiziente und zuverlässige Wafer-Ionen-Implantation entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, ein gesamtes Wafer-Set ohne menschliche Interaktion zu ändern. Es eignet sich gut zur Herstellung von Geräten mit verschiedenen Implantatprozessen. Mit den Strahlparametern von VARIAN M 2 I können Elektronen- und Ionenstrahlen auf eine Vielzahl von Energien beschleunigt werden, was eine Ladungszustandsumwandlung und -implantation unter verschiedenen Bedingungen ermöglicht. Es ist ideal für den Einsatz in der Großserienproduktion. Mit seiner schnellen und flexiblen Strahlkonfiguration ist M2I in der Lage, eine adaptive Ionenimplantation durchzuführen. Das Gerät ist mit einem automatisierten Monitor und Diagnosesystem ausgestattet, um sicherzustellen, dass das Gerät innerhalb bestimmter Parameter bleibt. Diese Maschine überwacht alle Komponenten vom Beschleuniger bis zur Strahllinie. Es ermöglicht auch automatische Strahllenkung und Ausrichtung für eine optimale Implantation. M 2 I enthält ein internes Echtzeit-Datenerfassungswerkzeug, das eine elektronische, thermische und dynamische Prozesssteuerung ermöglicht. Dies gewährleistet eine wiederholbare und zuverlässige Implantation und schafft einen robusten Prozess für spezifische Materialien und Strukturen. Weitere Komponenten sind die HF-Plasmaquelle zur Ionenerzeugung und die variable Aperturanlage zur Optimierung der Strahlsammlung. Die computergesteuerten Komponenten des Modells sind in der Lage, eine hochgenaue Positionskontrolle durchzuführen. Dies beinhaltet schnelles Scannen über große Bereiche mit kleinen Strahlgrößenänderungen. VARIAN M2I verfügt auch über programmierbare Steuerungs- und Hardwarefunktionen, um ultimative Flexibilität zu bieten und eine breite Palette von Einstellungen für eine präzise Implantation zu bieten. Das automatisierte Selbstkalibrierungs- und Diagnosesystem ermöglicht eine optimierte Leistung. Es hilft, den ordnungsgemäßen Betrieb zu überprüfen und Ausfallzeiten zu reduzieren, indem eine vorbeugende Wartung ermöglicht wird, bevor Probleme auftreten. Um eine zuverlässige und wiederholbare Produktion zu gewährleisten, umfasst VARIAN M 2 I mehrere Systeme. Dazu gehört eine statistische Rezeptoptimierungseinheit, die eine schnelle und genaue Inbetriebnahme und Abschaltung sowie schnelle zyklische Rezeptänderungen ermöglicht. Andere Systeme wie die automatisierte Implantat-Tiefenverfolgungsmaschine und das automatisierte Fehlanpassungssteuerungswerkzeug maximieren die Effizienz. M2I ist ein Branchenführer für effiziente, zuverlässige und wiederholbare Ionenimplantation. Seine schnelle und flexible Strahlkonfiguration und fortschrittliche Überwachungssysteme sorgen für eine zuverlässige Produktion. M 2 I bietet mit seinen zahlreichen Komponenten und Systemen eine unschlagbare Effizienz, Produktivität und Wiederholbarkeit.