Gebraucht VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577 zu verkaufen

VARIAN/NOVELLUS M2i Sputterausrüstung ist eines der vielseitigsten Abscheidungswerkzeuge zur Verfügung. Es ist eine Multi-Technologie-Plattform mit vollautomatisierter Überwachung und Steuerung. VARIAN M2i ist mit zwei oder vier planaren Kathoden ausgestattet und kann bis zu 100 Watt bei 25 MHz und 1000 Watt bei 250 MHz liefern. Es eignet sich für eine breite Palette von Materialien, darunter Metalle, Legierungen, Oxide und Chalkogenide. NOVELLUS M2i ist ein multitechnisches Werkzeug mit HF- und DC-Magnetronsputtern sowie reaktivem Ionenätzen (RIE) und erweiterter Substratrotation. Diese Techniken können in einer Vielzahl von Kombinationen und Verfahren verwendet werden, um die Abscheidung von fortgeschrittenen, komplexen Materialien zu ermöglichen. Das System zeigt auch einen MESA und Hochleistungshochleistungs-DC stottern Quelle, die in denselben Vakuumraum integriert wird. Diese integrierte Plattform ermöglicht das gleichzeitige Sputtern verschiedener Materialien aus verschiedenen Quellen sowie das schnelle Umschalten zwischen Sputterquellen. Die mit M2i Sputtereinheit eingesetzten fortschrittlichen Steuerungs- und Überwachungssysteme können vollautomatisiert werden, um die gewünschten Eigenschaften zu erreichen. Dies wird durch die in situ Überwachungsfunktionen, die die Echtzeitmessung von Dicke, Zusammensetzung und elektrischen Eigenschaften ermöglichen, weiter verbessert. Darüber hinaus verfügt VARIAN/NOVELLUS M2i über eine patentierte Multi-Parameter-Steuerungsfunktion, die eine gleichzeitige Überwachung mehrerer Sputterquellen ermöglicht und ein überlegenes Prozessmanagement und Optimierung ermöglicht. VARIAN M2i enthält auch eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, die es zu einem idealen Werkzeug für fortgeschrittene Forschung machen. Dazu gehören: eine reaktive Kammer zum Ätzen, eine In-situ-Oberflächendiagnostikmaschine, eine große Probenkammer mit breitem Temperaturbereich und eine Reihe weiterer Fähigkeiten, die die kundenspezifische Abscheidung fortschrittlicher Materialien ermöglichen. Mit integrierten Systemen für die Materialabscheidung und automatisierte Steuerung bietet NOVELLUS M2i eine Lösung für die präzise Abscheidung komplexer Materialien.