Gebraucht VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530 zu verkaufen

VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730
ID: 9083530
Weinlese: 2000
CVD system 2000 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist eine kompakte und leistungsstarke Sputterausrüstung, die sich ideal für die Dünnschichtabscheidung eignet. Das System ist mit einer Sputterquelle, einer Substrat- und Zielbaugruppe und einer aseptischen Kathodenübertragungsvorrichtung vollständig automatisiert. Die Sputterquellen-Baugruppe verfügt über eine verbesserte magnetische Sputterquelle für Verdampfer und kann sowohl DC- als auch HF-Magnetsputtern. Die Ziel- und Substratbaugruppe umfasst eine lineare Translationsstufe, die entweder mit einem runden oder rechteckigen Sputter-Target beladen ist, sowie einen drehbaren Substrathalter, der ein einfaches Be- und Entladen von Substraten ermöglicht. Die aseptische Kathodenübertragungsvorrichtung ist so konzipiert, dass sie saubere und wiederholbare Substratübertragungen über einen weiten Temperaturbereich gewährleistet und umfasst eine Ionenquelle und einen elektrostatischen Verschluss, um unerwünschte Partikelverunreinigungen zu verhindern. TEL MB2-730 kann Betriebsdrücke bis zu 10 Millitorr erreichen und Substrate bis zu 24 "Durchmesser aufnehmen. Es verfügt auch über einen temperaturgesteuerten Substrathalter zur Aufrechterhaltung einer konstanten Substrattemperatur sowie eine Argon-Rückfüllung und Verschluss für zusätzliche Sicherheit. Das Gerät ist auf Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt und wurde optimiert, um eine gleichmäßige Abscheidung einer Vielzahl von Folien zu ermöglichen, einschließlich Metalle, Dielektrika, Leiter und Halbleiter. VARIAN MB2-730 ist eine leistungsstarke und vielseitige Sputtermaschine, ideal für Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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