Gebraucht VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777 zu verkaufen
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ID: 9100777
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
WSIX CVD System, 8"
(3) Chamber (L/R/C) System
DCS-WSIX Process specification
(2) Chambers
(2) Loadlocks
(2) Cassettes
(2) MKS Baratron
Water pressure: 5 kg fc m2
Water flow: 33 litre / min
Water temperature: 15-25° C
General exhaust volume: 3.2 m3 / min
With touch panel display
Monitor
Keyboard
Mouse
Turbo pump and dry pump
Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM
Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA
1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 ist eine Sputteranlage für die zuverlässige Abscheidung von dünnen Schichten und Beschichtungen. Dieses System verwendet ein integriertes Bedienfeld (OP), das eine einfache Einstellung, eine bequeme Datenerfassung und Rezeptentwicklung ermöglicht. TEL MB2-730 verfügt über eine einzigartige Magnetron-Quad-Konfiguration, die es dem Gerät ermöglicht, vier Sputterbögen aus einer Hand zu erstellen, was eine schnelle und effiziente Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Jeder Sputterbogen wird verwendet, um ein anderes Material abzuscheiden, und die Maschine ist in der Lage, mehrere Schichten der Abscheidung auf einmal durchzuführen. Die elektromagnetischen Spulen können genau eingestellt werden, um den genauen Ionisationsgrad zu steuern. Die Kammer der VARIAN MB2-730 ist mit Luftreinigungs- und Gerätekühltechnologien hermetisch abgedichtet. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die Verschmutzungswerte auf einem Minimum gehalten werden und eine niedrige Substrattemperatur während der Abscheidung aufrechterhalten werden kann. Dadurch ist die Qualität der dünnen Folien, die wir mit diesem Werkzeug hergestellt haben, außerordentlich hoch. Zu den Quellen innerhalb von TOKYO ELECTRON MB2-730 gehören Magnetron-Sputterquellen, Ionenquellen und Elektronenkanonenquellen. Alle Quellen sind auf einer drehbaren Bühne für einen einfachen Zugang montiert, und jede Quelle hat einstellbare Leistungspegel für eine präzise Steuerung der Filmabscheiderate. Darüber hinaus ist MB2-730 auch mit einem Quarzmonitor ausgestattet, der das Vorhandensein von Kieselsalzen in der Kammer nachweisen kann. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 kommt auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um die Ausrüstung und den Benutzer zu schützen. Es gibt einen Not-Aus-Schalter, sowie die Gasisolieranlage, HF-Abschirmung und Wasserkreislauf-Wärmetauscher. Das Modell ist auch mit einer Verriegelungseinrichtung ausgestattet, die das System abschaltet, wenn ein Notfall eintritt. Insgesamt ist TEL MB2-730 eine leistungsstarke Sputtereinheit zur Herstellung zuverlässiger und hochwertiger Dünnschichten und Beschichtungen. Die Magnetron-Quad-Konfiguration und die einstellbaren Leistungsstufen ermöglichen eine präzise Steuerung und das integrierte Bedienfeld sowie leistungsstarke Sicherheitsfunktionen garantieren die Sicherheit des Benutzers und die Intaktheit der Geräte.
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