Gebraucht VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB 830 #9274344 zu verkaufen
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ID: 9274344
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8"
CTI-CRYOGENICS OB-8
(3) Chambers
TiN.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830 ist eine anspruchsvolle Sputterausrüstung für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiter-, medizinischen und industriellen Anwendungen. Es bietet eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, eine Reihe von dünnen Schichten auf Substraten abzuscheiden. Das Sputtersystem besteht aus einem Zweikammer-Vakuumgehäuse mit integrierten Komponenten, um eine kontrollierte Umgebung für die präzise Abscheidung einer großen Auswahl an Filmen auf Komponenten wie Flachbildschirme, optische Geräte, magnetische Materialien, Halbleiterspeicherchips und Dünnschichttransistoren (TFTs) bereitzustellen. TEL MBB 830 enthält eine niederenergetische Ionenquelle, die große Abscheidungsraten liefert und minimale Wärmelasten erzeugt. Das Gerät bietet eine Niederdruck-Plasmaquelle zur Förderung höherer Sputterraten bei geringeren Betriebskosten und größerer Gleichmäßigkeit über große Flächen. Seine präzise gesteuerte Elektronenstrahl-Pistolenmaschine „Direct Write“ soll eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Filmdicke über große Flächen gewährleisten. VARIAN MBB 830 enthält auch ein maßgeschneidertes Computerwerkzeug mit Host-PC und Fernbedienungssoftware zur flexiblen Steuerung des Abscheideprozesses. Die Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Oxide, Nitride, Karbide, Silizide und Legierungen durch seine HF-Magnetron-Sputter-basierte Technologie mit reaktiven Gasen und inerten Gasen abzuscheiden. Dieses sputterbasierte Abscheideverfahren erhält die Stabilität des Substratmaterials und kann auch ultrahochreine Filmschichten in verschiedenen Formen und Größen erreichen. TOKYO ELECTRON MBB 830 ist für den Einsatz in Serienproduktionen konzipiert und liefert wiederholbare, qualitativ hochwertige Prozessergebnisse. Es ist auch in der Lage, hohen Durchsatz (bis zu 450 x 400mm) für fast jede Größe Substrat, und eine ausgezeichnete Quelle der Drehung und Kippachse Bewegung für präzise Mehrschicht-Film-Abscheidung. MBB 830 umfasst eine umfassende Palette von Prozessüberwachungslösungen wie ein Inline-Spektralphotometer, ein temperaturgesteuertes Roboterproben-Pick-up-Modell, einen Elektronenstrahl-Pistolen-Spot-Monitor, eine hauseigene optische Messtechnik und ein durchgängiges Objektiv-Videomikroskop. Diese Lösungen bieten Anwendern eine beispiellose Kontrolle über ihre Dünnschichtergebnisse und ermöglichen es ihnen, die Qualitätsleistung im Laufe der Zeit zu erhalten. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830 bietet hochpräzise, zuverlässige Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten und eine große Qualitätssicherung und Prozesskontrolle, so dass es eine ideale Wahl für anspruchsvolle Abscheidungsanwendungen ist.
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