Gebraucht VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 #9209412 zu verkaufen

VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 Sputterausrüstung ist ein zuverlässiges, kostengünstiges System entwickelt, um die Beschichtung von Substraten mit dünnen Schichten für eine breite Palette von Anwendungen zu ermöglichen. Das Gerät nutzt eine Gleichstromversorgung und liefert Gleichstrom (DC) mit einstellbaren Spannungs- und Stromeinstellungen für optimale Abscheideraten. Diese Maschine unterstützt sowohl ein- als auch zweiseitiges Sputtern mit Hilfe von zwei Magnetronsputterquellen, die auf dem unteren und oberen Teil des Werkzeugs angeordnet sind, um sowohl die Oberseite als auch die Unterseite des Substrats zu beschichten. Das Substrat wird durch elektrostatische Klemmen zur genauen Platzierung und gleichmäßigen Abscheidung gehalten. Es verfügt auch über einen automatischen Revolver, der einen einfachen Zugang für einfachen Substratwechsel ermöglicht, ohne den Sputterprozess zu unterbrechen. Das Asset bietet mehrere Prozess- und Rezeptsteuerungsoptionen wie Substratvorspannung, feste Leistung sowie Strom- und Spannungsrückkopplungsfunktionen zur präzisen Kontrolle der Filmstruktur und -dicke. Es hat eine breite Palette von Sputtergaseinstellungen, die verschiedene Abscheidungstypen wie Oxide, Nitride, Metalle und Dielektrika unterstützen. Es bietet auch zusätzliche Sicherheitsfunktionen wie ein eingebautes Interlock-Modell, Drucksteuergerät und Notabschaltung. Der VCE.PVDI C-2 kann Substrate bis zu einer Größe von 150 mm aufnehmen und ist für einen niedrigen Druck von bis zu 70 mTorr geeignet. Die kundenspezifische Vakuumkammer wurde entwickelt, um überlegene Abscheidungsbedingungen zu erzielen und kann nach einem einzigen Pumpenzyklus einen Druck von 1 × 10-6 Torr erreichen. Schließlich ermöglichen die effizienten Kühler der Anlage eine effiziente Kühlung der Abscheidekammer und der Quellen. Insgesamt ist VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 ein zuverlässiges, kostengünstiges Sputtersystem, das die Beschichtung von Substraten mit dünnen Folien für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Es bietet erweiterte Steuerungsoptionen und Prozesseinstellungen sowie außergewöhnliche Druck- und Vakuumfunktionen und ist somit eine ideale Wahl für die Beschichtung kleiner Substrate mit hohem Durchsatz.