Gebraucht VEECO / SLOAN Spector #9205193 zu verkaufen

VEECO/SLOAN Spector ist eine Sputterausrüstung, die eine Art physikalische Dampfabscheidungstechnik (PVD) ist, die zum Aufbringen von Dünnschichtschichten auf die Oberfläche eines Substrats verwendet wird. Es besteht aus zwei Hauptkomponenten, einer Vakuumkammer und einer Sputterpistole. Die Vakuumkammer ist ein abgedichteter, isolierter Raum. Es soll den Druck innerhalb der Kammer verringern, so dass sich Atome und Moleküle frei bewegen und eine Dampfphase bilden können. Je nach abzuscheidendem Material können verschiedene Komponenten des Vakuums optimiert werden. Die Sputterpistole besteht aus einem Target, also dem zu deponierenden Material, einer Atomquelle, einer Stromversorgung, einem Schild und einem Gasinjektor. Das Target wird üblicherweise aus dem zu zerstäubenden Material wie Kupfer oder Aluminium hergestellt, während die Atomquelle in der Regel ein Gas ist, wie Argon oder Xenon, um das Sputtern zu fördern. Elektrischer Strom wird durch die Atomquelle gesendet, damit das Gas ionisieren und in Richtung des Ziels beschleunigen kann. Die Abschirmung schützt andere Komponenten des Systems, wie das Substrat, vor dem direkten Beschuss von Ionen. Der Gasinjektor versorgt das Gerät mit zusätzlichen Gasen wie Stickstoff und verhindert, dass das Ziel überhitzt wird. Wenn das Target mit hoher Energie beaufschlagt wird, werden die Atome des Materials von seiner Oberfläche abgelöst. Diese Atome werden dann gegen die Oberfläche des Substrats getrieben, wo sie sich abscheiden und die gewünschte Materialschicht bilden. Die Dicke der abgeschiedenen Folie kann durch Veränderung der Leistung der Sputterpistole, des Gasdrucks und der Prozeßdauer eingestellt werden. VEECO Spector Sputtermaschine wird verwendet, um hochpräzise Herstellung einer breiten Palette von Materialien zu erreichen, wie Halbleiter, Metalle, Dielektrika und Isolatoren. Seine hohe Abscheidungsrate und Genauigkeit ermöglicht es, in optoelektronischen, photovoltaischen und Halbleiteranwendungen weit verbreitet zu sein und ist ein Kernbauteil in der Mikro- und Nanofabrikation und der Herstellung von mehrschichtigen Dünnschichtbauelementen.