Gebraucht VEECO Spector HBDG #9236498 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9236498
Weinlese: 1996
Ion beam deposition system
Horizontal Beam Dual Gun (HBDG)
IBAD Processing
R&D Size
Dry roughing pump for enhanced UV optical film performance
RF Ion source with PB neutralizer
Standard vacuum instrumentation through ITAVS
Split drum style chamber
(4) Round targets
External substrate rotation
CTI Cryotorr 10II RC Pump
IC4+
(2) Ion guns (6 cm)
Plasma bridge neutralizer
Target, 5"
(4) Position water cooled target carousels with gas flood
Substrate stage, 6"
Water cooled
Tilt: 90-0-90
1996 vintage.
VEECO Spector HBDG ist eine fortschrittliche und modernste Sputterausrüstung, die aus vier verschiedenen Modulen besteht. Es ist ein Hochleistungs-Sputtersystem, das entwickelt wurde, um defektarme Nanomaterialien und Geräte zu erzeugen. Die vier Module von Spector HBDG bieten eine hervorragende Ätzleistung für eine Vielzahl von Materialien und Prozessen. Der Kern von VEECO Spector HBDG ist das hochdichte Hochdurchsatzmodul (HD/HT), das sowohl zum Co-Sputtern als auch zum Ionenfräsen in der Lage ist. Dieses Modul enthält zwei Dual-Magnet-Sputterkammern, zwei Hochgeschwindigkeitsnetzteile und eine einzige Dual-Beam-Ionen-Quelle, die Sputterfolien mit bis zu 100 Schichten in einem Lauf ermöglicht. Das HD/HT-Modul ermöglicht auch sequentielles Sputtern, mit dem komplexe, mehrschichtige Strukturen in einem einzigen, effizienten Prozess abgelegt werden können. Das zweite Modul ist das Niedervakuumspektrum (LV/SP) -Modul, das eine Hochvakuum-Dual-Magnetron-Sputterkammer verwendet. Dieses Modul ist für das sehr Dünnschichtsputtern optimiert und eignet sich besonders zum Sputtern von Spezialfolien wie Hafniumoxiden und Tantalnitriden. Das LV/SP-Modul verfügt zudem über ein verbessertes optisches Fenster, das einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Sputtergenauigkeit ermöglicht. Das dritte Modul ist das Low Stress Sputtering (LSST) Modul. Dieses Modul ist für die Abscheidung von Schichten mit geringer Beanspruchung und hoher Abriebfestigkeit ausgelegt. Das hochenergetische LSST-Modul nutzt eine einzigartige doppelt gestapelte Zieleinheit, um den gesamten Ionenfluss zu erhöhen und die Partikeloberflächenverschmutzung zu reduzieren. Das vierte und letzte Modul ist das Rapid Thermal Annealing (RTA) Modul. Dieses Modul ist in der Lage, gleichzeitige Wärmebehandlung und Sputtern, so dass ein Zwei-in-One-Prozess, der die gesamte Bearbeitungszeit drastisch verkürzt. Das RTA-Modul verwendet Hochfrequenzgeneratoren, um in kurzer Zeit hohe Temperaturen zu erzielen, und sein patentiertes Dreifachanodendesign sorgt dafür, dass Schichtgleichförmigkeit und Haftung erhalten bleiben. Zusammenfassend ist Spector HBDG eine fortschrittliche und präzise Sputtermaschine, die vier einzigartige Module verwendet, um die effiziente Herstellung defektarmer Nanomaterialien und Geräte zu ermöglichen. Das Werkzeug ist in der Lage, mehrschichtige Verarbeitung, Sputtern mit geringer Spannung und schnelles thermisches Glühen zu verbessern Materialeigenschaften und Verarbeitungszeiten zu reduzieren.
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