Gebraucht VEECO / DEKTAK Spector #9095769 zu verkaufen

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ID: 9095769
Weinlese: ~2001
Dual ion beam deposition system Application: DWDM Filter Target: (3) Round target Target Materials: (1) Ta and (2) SiO2 Rotation: High Speed Fixture, Internal Control Heater: Yes RGA: No OMS: Yes with Agilent Laser Modified OMS computer Pumping System: CTI CRY-400 On-Board CTI 9600 Compressor Mechanical Pump ~2001 vintage.
VEECO/DEKTAK Spector ist eine Sputteranlage, die zur Abscheidung von dünnen Folien auf Oberflächen verwendet wird. Es ist ein Hochleistungs-Beschichtungssystem, das entworfen wurde, um die Anforderungen einer Vielzahl von Industrieanwendungen zu erfüllen, einschließlich Halbleiter-, Flachbildschirm, Display und Optikfertigung. Das Gerät basiert auf physikalischer Aufdampftechnik und ermöglicht die schnelle, gleichmäßige und präzise Aufbringung von dünnen Schichten auf Substratmaterialien. Es besteht aus einem integrierten Basismodul, einer Prozesskammer, einer hochpräzisen Substratstufe und einer integrierten Prozesssteuerungsmaschine. Die Prozesskammer verfügt über zwei Prozessquellen - eine Chargenkammer und eine externe Quelle, die eine Vielzahl von Abscheidetechniken ermöglichen. Das Werkzeug ist für die Verarbeitung von Materialien bis zu 4 „Größe, mit einer Gesamtarbeitsfläche von 13“ Durchmesser und einem Temperaturbereich von bis zu 500 ° C ausgelegt. Dies ermöglicht die Abscheidung unterschiedlichster Materialien, darunter Metalle, Leiter, Dielektrika und Widerstände. Die Anlage ist mit Präzisionsautomatisierungsfunktionen ausgestattet, darunter eine lineare und wiederholbare XYZ-Bewegungsstufe, ein zweiseitiges, vollautomatisches Wafer-Handling-Modell und eine patentierte VisionPlus™ 7-CAD Webcam-Ausrüstung. Dies ermöglicht eine zuverlässige Bewegung, Position, Orientierung, Ausrichtung und Genauigkeit des Substrats. Das VisionPlus™ System bietet einen umfassenden grafischen Überblick über den Prozess und ermöglicht den Anwendern die detaillierte Überwachung des Prozesses. Das Gerät bietet auch eine EDX-Qualitätskontrollmaschine zur Echtzeit-Materialcharakterisierung. Das Werkzeug kann für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich der Synthese von dünnen Folien für leistungsstarke elektronische und/oder optische Materialien und der Abscheidung von Schutz- oder Dekorbeschichtungen für industrielle Substrate. VEECO Spector Asset ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die Herstellung von dünnen Folien für viele Arten von Industrieanwendungen.
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